[发明专利]扫描振镜振动参数的测量系统和测量方法有效
| 申请号： | 201610443918.2 | 申请日： | 2016-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN106092302B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 李坤;陈永权;赵建科;薛勋;刘尚阔;曹昆;段亚轩;李晶;王争锋;昌明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 陈广民 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扫描 振动 参数 测量 系统 测量方法 | ||
【权利要求书】：
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