[发明专利]扫描振镜振动参数的测量系统和测量方法有效
| 申请号： | 201610443918.2 | 申请日： | 2016-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN106092302B | 公开（公告）日： | 2022-03-25 |
| 发明（设计）人： | 李坤;陈永权;赵建科;薛勋;刘尚阔;曹昆;段亚轩;李晶;王争锋;昌明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G01H9/00 | 分类号： | G01H9/00 |
| 代理公司： | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人： | 陈广民 |
| 地址： | 710119 陕西省西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扫描 振动 参数 测量 系统 测量方法 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院西安光学精密机械研究所，未经中国科学院西安光学精密机械研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201610443918.2/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
