[发明专利]位置检知装置

权利要求书

1.一种位置检知装置，其特征在于，包括：基座(1)、位于基座(1)上的安装部(3)、能转动安装于安装部(3)上的杠杆(2)、安装于杠杆(2)一端的磁头(4)、一端能转动连接于杠杆(2)靠近磁头(4)一端的联动杆(5)、能转动连接于联动杆(5)另一端的磁屏蔽板(7)、及安装于基座(1)上的信号线感应端(6)；在没有外力施加于杠杆(2)时，杠杆(2)一端因重力朝下，磁头(4)与信号线感应端(6)产生磁感应；当杠杆(2)另一端受外力作用，杠杆(2)一端转动，磁头(4)朝远离信号线感应端(6)方向运动，所述联动杆(5)带动磁屏蔽板(7)盖于信号线感应端(6)上，所述磁头(4)与信号线感应端(6)未产生感应，通过磁头(4)与信号线感应端(6)的感应与否来实现两个不同位置状态指示。

2.如权利要求1所述的位置检知装置，其特征在于，所述基座(1)设有收容槽(12)，所述信号线感应端(6)容纳于收容槽(12)内，当杠杆(2)另一端受外力作用，杠杆(2)一端转动，所述联动杆(5)带动磁屏蔽板(7)盖于基座(1)对应信号线感应端(6)的收容槽(12)上。

3.如权利要求1所述的位置检知装置，其特征在于，所述杠杆(2)另一端设有滚轮(8)，以在杠杆(2)另一端受外力作用时外力施加于滚轮(8)上。

4.如权利要求1所述的位置检知装置，其特征在于，所述磁头(4)的数量为两个，分别定义为纵向磁头(42)与横向磁头(44)。

5.如权利要求4所述的位置检知装置，其特征在于，所述纵向磁头(42)设于所述杠杆(2)一端的一侧面上；所述横向磁头(44)邻近纵向磁头(42)设置，以在没有外力施加于杠杆(2)，杠杆(2)一端因重力朝下时，增强磁头(4)与信号线感应端(6)产生磁感应。

6.如权利要求1所述的位置检知装置，其特征在于，所述磁屏蔽板(7)包括一屏蔽板部(72)、连接于屏蔽板部(72)的连接部(74)、及设于连接部(74)上的转轴(76)，所述联动杆(5)另一端设有一轴孔(52)，其能转动容纳该转轴(76)；所述杠杆(2)一端设有枢轴(22)，所述联动杆(5)一端设有一枢孔(54)，其能转动容纳该枢轴(22)。

7.如权利要求1所述的位置检知装置，其特征在于，还包括设于所述基座(1)上与信号线感应端(6)及磁头(4)对应的清洁单元(9)，以用于对信号线感应端(6)及磁头(4)进行清洁。

8.如权利要求7所述的位置检知装置，其特征在于，所述清洁单元(9)为CDA吹扫气管。

9.如权利要求1所述的位置检知装置，其特征在于，用于湿法蚀刻设备。