[发明专利]一种搅拌喷吹制备铜基金刚石热沉材料的方法有效

专利信息
申请号: 201610459238.X 申请日: 2016-06-22
公开(公告)号: CN105838954B 公开(公告)日: 2017-07-11
发明(设计)人: 豆志河;张廷安;吕国志;苏建铭;关录奎;刘燕;傅大学;张伟光;赵秋月 申请(专利权)人: 东北大学
主分类号: C22C26/00 分类号: C22C26/00;C22C1/10;C22C1/03;C23C18/40;H01L23/373
代理公司: 沈阳东大知识产权代理有限公司21109 代理人: 刘晓岚
地址: 110819 辽宁*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 搅拌 制备 基金 刚石 材料 方法
【权利要求书】:

1.一种搅拌喷吹制备铜基金刚石热沉材料的方法,其特征在于,包括以下步骤:

步骤1.金刚石表面改性:

将金刚石置于镀液中,进行化学镀铜处理,烘干后制得镀铜金刚石;

步骤2.搅拌喷吹熔炼:

(1)配料:按组成分别称取镀铜金刚石、中间合金与纯铜,其中,中间合金为Cu-Cr、Cu-W、Cu-Ti或Cu-Si中的一种或几种合金;按质量百分比,镀铜金刚石为50~90wt%,中间合金为0.5~2wt%,余量为纯铜;

(2)铜基熔体制备:将纯铜与中间合金混合后在1100~1300℃,加热熔炼10~40min,形成铜基熔体;

(3)铜基熔体离心化:搅拌铜基熔体,搅拌速度为100~400rpm,使铜基熔体形成离心漩涡流;

(4)搅拌喷吹:向铜基熔体离心漩涡流中喷吹镀铜金刚石,在铜基熔体中原位生成增强相,形成复合有增强相的铜基熔体;

步骤3.偏心均匀弥散:

调整搅拌桨位置,对复合有增强相的铜基熔体进行偏心搅拌,形成均匀弥散后的铜基熔体;其中,搅拌速度为50~200rpm,搅拌时间为5~60min;

步骤4.速冷凝固:

停止搅拌,将均匀弥散后的铜基熔体速冷凝固,制得铜基金刚石热沉材料。

2.根据权利要求1所述的搅拌喷吹制备铜基金刚石热沉材料的方法,其特征在于,所述的步骤1中的金刚石预先经过除油-粗化-敏化-活化处理,然后将金刚石置于镀液中,进行化学镀铜处理。

3.根据权利要求1所述的搅拌喷吹制备铜基金刚石热沉材料的方法,其特征在于,所述的步骤1中,化学镀铜处理的参数为:施镀时间0.8~3h,施镀温度40~50℃,每升镀液中含有:CuSO4·5H2O:10~20g,质量分数为36%的甲醛溶液:10~20g,酒石酸钾钠:10~18g,EDTA:19~20g,NaOH:14~15g,二联吡啶:0.01~0.03g,亚铁氰化钾:0.01g,镀液的pH为12.0~12.5。

4.根据权利要求1所述的搅拌喷吹制备铜基金刚石热沉材料的方法,其特征在于,所述的步骤1中的烘干在真空干燥箱中进行,烘干后制得的镀铜金刚石,界面润湿角小于80度。

5.根据权利要求1所述的搅拌喷吹制备铜基金刚石热沉材料的方法,其特征在于,所述的步骤2(2)中的熔炼在高温炉中进行。

6.根据权利要求1所述的搅拌喷吹制备铜基金刚石热沉材料的方法,其特征在于,所述的步骤2(3)中,采用石墨桨搅拌。

7.根据权利要求1所述的搅拌喷吹制备铜基金刚石热沉材料的方法,其特征在于,所述的步骤2(4)中生成的增强相为Cr3C2、WC、TiC或SiC中的一种或几种。

8.根据权利要求1所述的搅拌喷吹制备铜基金刚石热沉材料的方法,其特征在于,所述的步骤3中的搅拌桨的偏心率为0.2~0.9。

9.根据权利要求1所述的搅拌喷吹制备铜基金刚石热沉材料的方法,其特征在于,所述的步骤4中的速冷凝固的方式为强制水冷或空冷。

10.根据权利要求1所述的搅拌喷吹制备铜基金刚石热沉材料的方法,其特征在于,所述方法制备的铜基金刚石热沉材料,其热导率为550~950W·m-1·K-1,线性热膨胀系数为4.5~9.6ppm·K-1,比热容为412~471J·kg-1·℃-1

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