[发明专利]一种搅拌喷吹制备铜基金刚石热沉材料的方法有效
申请号: | 201610459238.X | 申请日: | 2016-06-22 |
公开(公告)号: | CN105838954B | 公开(公告)日: | 2017-07-11 |
发明(设计)人: | 豆志河;张廷安;吕国志;苏建铭;关录奎;刘燕;傅大学;张伟光;赵秋月 | 申请(专利权)人: | 东北大学 |
主分类号: | C22C26/00 | 分类号: | C22C26/00;C22C1/10;C22C1/03;C23C18/40;H01L23/373 |
代理公司: | 沈阳东大知识产权代理有限公司21109 | 代理人: | 刘晓岚 |
地址: | 110819 辽宁*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 搅拌 制备 基金 刚石 材料 方法 | ||
1.一种搅拌喷吹制备铜基金刚石热沉材料的方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1.金刚石表面改性:
将金刚石置于镀液中,进行化学镀铜处理,烘干后制得镀铜金刚石;
步骤2.搅拌喷吹熔炼:
(1)配料:按组成分别称取镀铜金刚石、中间合金与纯铜,其中,中间合金为Cu-Cr、Cu-W、Cu-Ti或Cu-Si中的一种或几种合金;按质量百分比,镀铜金刚石为50~90wt%,中间合金为0.5~2wt%,余量为纯铜;
(2)铜基熔体制备:将纯铜与中间合金混合后在1100~1300℃,加热熔炼10~40min,形成铜基熔体;
(3)铜基熔体离心化:搅拌铜基熔体,搅拌速度为100~400rpm,使铜基熔体形成离心漩涡流;
(4)搅拌喷吹:向铜基熔体离心漩涡流中喷吹镀铜金刚石,在铜基熔体中原位生成增强相,形成复合有增强相的铜基熔体;
步骤3.偏心均匀弥散:
调整搅拌桨位置,对复合有增强相的铜基熔体进行偏心搅拌,形成均匀弥散后的铜基熔体;其中,搅拌速度为50~200rpm,搅拌时间为5~60min;
步骤4.速冷凝固:
停止搅拌,将均匀弥散后的铜基熔体速冷凝固,制得铜基金刚石热沉材料。
2.根据权利要求1所述的搅拌喷吹制备铜基金刚石热沉材料的方法,其特征在于,所述的步骤1中的金刚石预先经过除油-粗化-敏化-活化处理,然后将金刚石置于镀液中,进行化学镀铜处理。
3.根据权利要求1所述的搅拌喷吹制备铜基金刚石热沉材料的方法,其特征在于,所述的步骤1中,化学镀铜处理的参数为:施镀时间0.8~3h,施镀温度40~50℃,每升镀液中含有:CuSO4·5H2O:10~20g,质量分数为36%的甲醛溶液:10~20g,酒石酸钾钠:10~18g,EDTA:19~20g,NaOH:14~15g,二联吡啶:0.01~0.03g,亚铁氰化钾:0.01g,镀液的pH为12.0~12.5。
4.根据权利要求1所述的搅拌喷吹制备铜基金刚石热沉材料的方法,其特征在于,所述的步骤1中的烘干在真空干燥箱中进行,烘干后制得的镀铜金刚石,界面润湿角小于80度。
5.根据权利要求1所述的搅拌喷吹制备铜基金刚石热沉材料的方法,其特征在于,所述的步骤2(2)中的熔炼在高温炉中进行。
6.根据权利要求1所述的搅拌喷吹制备铜基金刚石热沉材料的方法,其特征在于,所述的步骤2(3)中,采用石墨桨搅拌。
7.根据权利要求1所述的搅拌喷吹制备铜基金刚石热沉材料的方法,其特征在于,所述的步骤2(4)中生成的增强相为Cr3C2、WC、TiC或SiC中的一种或几种。
8.根据权利要求1所述的搅拌喷吹制备铜基金刚石热沉材料的方法,其特征在于,所述的步骤3中的搅拌桨的偏心率为0.2~0.9。
9.根据权利要求1所述的搅拌喷吹制备铜基金刚石热沉材料的方法,其特征在于,所述的步骤4中的速冷凝固的方式为强制水冷或空冷。
10.根据权利要求1所述的搅拌喷吹制备铜基金刚石热沉材料的方法,其特征在于,所述方法制备的铜基金刚石热沉材料,其热导率为550~950W·m-1·K-1,线性热膨胀系数为4.5~9.6ppm·K-1,比热容为412~471J·kg-1·℃-1。
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