[发明专利]工件曝光方法、曝光设备及其置件机构

权利要求书

1.一种工件曝光方法，其特征在于，所述工件曝光方法包括：

置放待曝光的一第一工件于一第一台框上；

移动所述第一台框，接着以一位置对准装置进行所述第一台框与一曝光装置间的对位作业，其后，所述曝光装置对所述第一台框上的待曝光的所述第一工件进行曝光作业；在所述第一台框及待曝光的所述第一工件进行所述对位作业与所述曝光作业的至少其中一个作业过程中，置放待曝光的一第二工件于一第二台框；以及

移动所述第二台框，接着以所述位置对准装置进行所述第二台框与所述曝光装置间的对位作业，其后，所述曝光装置对所述第二台框上的待曝光的所述第二工件进行曝光作业；在所述第二台框及待曝光的所述第二工件进行所述对位作业与所述曝光作业的至少其中一个作业过程中，置放待曝光的另一第一工件于另一第一台框上，接着移动交换所述第一台框及所述另一第一台框的位置。

2.如权利要求1所述的工件曝光方法，其特征在于，在所述第二台框进行所述对位作业的过程中，置放待曝光的所述另一第一工件于所述另一第一台框上；在待曝光的所述第二工件进行所述曝光作业的过程中，移动交换所述第一台框及所述另一第一台框的位置，以使所述位置对准装置进行所述另一第一台框与所述曝光装置间的对位作业。

3.如权利要求2所述的工件曝光方法，其特征在于，所述曝光装置包含有单个曝光光源，所述曝光光源沿一直线方向移动，并且所述曝光光源在移动的过程中，先对待曝光的所述第一工件进行所述曝光作业，而后对待曝光的所述第二工件进行所述曝光作业。

4.如权利要求1所述的工件曝光方法，其特征在于，所述位置对准装置所进行的各个所述对位作业以及所述曝光装置所进行的各个所述曝光作业是在同一工作腔室内实施。

5.如权利要求1至4中任一权利要求所述的工件曝光方法，其特征在于，在移动交换所述第一台框及所述另一第一台框的位置之后，以所述位置对准装置进行所述另一第一台框与所述曝光装置间的对位作业，其后，所述曝光装置对所述另一第一台框上的待曝光的所述另一第一工件进行曝光作业；在所述另一第一台框及待曝光的所述另一第一工件进行所述对位作业与所述曝光作业的至少其中一个作业过程中，置放待曝光的另一第二工件于另一第二台框，接着移动交换所述第二台框及所述另一第二台框的位置。

6.如权利要求5所述的工件曝光方法，其特征在于，所述工件曝光方法进一步包括：提供设有所述第一台框、所述另一第一台框、所述第二台框、所述另一第二台框、所述位置对准装置、及所述曝光装置的一曝光设备，并且所述曝光设备能被用来执行所述第一台框、所述另一第一台框、所述第二台框、及所述另一第二台框的移动、所述位置对准装置的对位作业、及所述曝光装置的曝光作业。

7.一种曝光设备，其特征在于，所述曝光设备包括：

一工作腔室及位于所述工作腔室外侧的一置件区域；

一位置对准装置，设置于所述工作腔室内；

一曝光装置，设置于所述工作腔室内；

两个第一台框，分别设置于所述工作腔室与所述置件区域，并且任一个所述第一台框能可移动地与另一个所述第一台框进行位置交换；以及

两个第二台框，分别设置于所述工作腔室与所述置件区域，并且任一个所述第二台框能可移动地与另一个所述第二台框进行位置交换；

其中，位于所述工作腔室内的所述第一台框及所述第二台框能通过所述位置对准装置，而进行与所述曝光装置间的对位作业。

8.如权利要求7所述的曝光设备，其特征在于，所述曝光装置包含有单个曝光光源，所述曝光光源能相对于位在所述工作腔室内的所述第一台框与所述第二台框移动，以使位在所述工作腔室内的所述第一台框与所述第二台框位于所述曝光光源的移动范围下方。

9.如权利要求8所述的曝光设备，其特征在于，所述曝光光源沿一直线方向移动，并且位于所述工作腔室内的所述第一台框与所述第二台框的排列方向平行于所述直线方向，而所述曝光光源能在移动的过程中，依序对所述第一台框与所述第二台框进行曝光作业。