[发明专利]管式PECVD石墨舟工艺点安装装置

权利要求书

1.一种管式PECVD石墨舟工艺点安装装置，其特征在于：包括石墨舟输送装置和工艺点压装装置，所述工艺点压装装置设置在所述石墨舟输送装置的正上方，所述石墨舟输送装置包括石墨舟固定夹具和驱动石墨舟固定夹具移动的移动装置，所述石墨舟固定夹具滑动安装在所述移动装置上，所述工艺点压装装置包括导向装置和压点装置，所述导向装置与所述压点装置相对设置，所述导向装置包括导向板（6）和驱动导向板（6）升降的升降装置，所述导向板（6）固定安装在所述升降装置上，所述导向板（6）上开有若干导向孔（7），若干所述导向孔（7）与石墨舟（18）上的工艺孔相对应，所述导向板（6）上表面导向孔（7）所在位置处固定安装有导向套筒（8），所述导向孔（7）与所述导向套筒（8）同轴心，所述压点装置包括压板（9）和驱动压板（9）升降的升降装置，所述压板（9）固定安装在所述升降装置上，所述压板（9）上固定安装有若干与石墨舟（18）上的工艺孔相对应的压杆（10），所述压杆（10）与所述导向套筒（8）同轴心。

2.如权利要求1所述的管式PECVD石墨舟工艺点安装装置，其特征在于：所述石墨舟固定夹具包括底板（1），所述底板（1）上固定安装有安装块（2），所述安装块（2）上开有直角开口（3），两个所述安装块（2）对称设置，所述底板（1）上开有螺纹孔，所述螺纹孔内螺纹安装有螺钉（4），所述底板（1）上开有若干与石墨舟（18）上的工艺孔相对应的工艺盲孔（5）。

3.如权利要求2所述的管式PECVD石墨舟工艺点安装装置，其特征在于：所述工艺盲孔（5）的深度与工艺点中卡块的高度相等。

4.如权利要求1所述的管式PECVD石墨舟工艺点安装装置，其特征在于：所述移动装置为丝杆驱动装置，包括丝杆（11），丝杆转动装置、具有滑槽的导轨（12）和滑块，所述丝杆（11）驱动装置与所述丝杆（11）固定连接，所述滑块与所述丝杆（11）传动连接，所述滑块滑动安装在所述导轨（12）内。

5.如权利要求1所述的管式PECVD石墨舟工艺点安装装置，其特征在于：所述升降装置为推动缸。