[发明专利]管式PECVD石墨舟工艺点安装装置

说明书

技术领域

本发明涉及太阳能电池片制造技术领域，尤其是涉及一种管式PECVD石墨舟工艺点安装装置。

背景技术

在太阳能电池片的制造过程中，硅片进行其表面镀膜工序时，需要将未镀膜的硅片插入PECVD真空镀膜设备的载片器上，目前，载片器通常采用如图8所示的石墨舟，具体操作过程是：将硅片插入石墨舟并通过石墨舟工艺点定位于其上，然后，将载有硅片的石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备中，采用PECVD工艺对硅片进行镀膜。

现有的石墨舟工艺点主要由卡块和用于安装在石墨舟片安装孔中的柱体形安装部组成，卡块为两个且对称分布在安装部两端面上，卡块是自外向内渐缩的圆柱体，其端面与侧面之间采用圆弧过渡面，卡块的根部与安装部的端面之间分别形成用于卡合硅片的卡槽。现有的石墨舟在使用到30run(次)时，会出现边缘发白现象，且到后期愈发严重，且在做MUL和NY工艺时，工艺点会烧焦，尤其是做MUL工艺时，工艺点烧焦加重，烧焦比例一度超过30％。因此在日常生产中，管式PECVD石墨舟维修及维护较为频繁，石墨舟长的工艺点较多，若仅靠人工安装，人工工作量非常大，安装效率较低。

发明内容

本发明要解决的技术问题是：为了克服现有技术中管式PECVD石墨舟维修及维护较为频繁，石墨舟长的工艺点较多，若仅靠人工安装，人工工作量非常大，安装效率较低的问题，提供一种管式PECVD石墨舟工艺点安装装置。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种管式PECVD石墨舟工艺点安装装置，包括石墨舟输送装置和工艺点压装装置，所述工艺点压装装置设置在所述石墨舟输送装置的正上方。

进一步的，所述石墨舟输送装置包括石墨舟固定夹具和驱动石墨舟固定夹具移动的移动装置，所述石墨舟固定夹具滑动安装在所述移动装置上。

进一步的，为了更好的固定石墨舟，所述石墨舟固定夹具包括底板，所述底板上固定安装有安装块，所述安装块上开有直角开口，两个所述安装块对称设置，所述底板上开有螺纹孔，所述螺纹孔内螺纹安装有螺钉，所述底板上开有若干与石墨舟上的工艺孔相对应的工艺盲孔。

进一步的，所述工艺盲孔的深度与工艺点中卡块的高度相等，便于在工艺点的安装过程中，限制工艺点在该工艺孔中的位置。

进一步的，所述工艺点压装装置包括导向装置和压点装置，所述导向装置与所述压点装置相对设置。

进一步的，所述导向装置包括导向板和驱动导向板升降的升降装置，所述导向板固定安装在所述升降装置上，所述导向板上开有若干导向孔，若干所述导向孔与石墨舟上的工艺孔相对应，所述导向板上表面导向孔所在位置处固定安装有导向套筒，所述导向孔与所述导向套筒同轴心。

进一步的，所述压点装置包括压板和驱动压板升降的升降装置，所述压板固定安装在所述升降装置上，所述压板上固定安装有若干与石墨舟上的工艺孔相对应的压杆，所述压杆与所述导向套筒同轴心。

进一步的，为了简化本发明的整体结构，所述移动装置为丝杆驱动装置，包括丝杆，丝杆转动装置、具有滑槽的导轨和滑块，所述丝杆驱动装置与所述丝杆固定连接，所述滑块与所述丝杆传动连接，所述滑块滑动安装在所述导轨内。

进一步的，为了简化本发明的整体结构，所述升降装置为推动缸。

本发明的有益效果是:本发明包括石墨舟固定夹具和驱动石墨舟固定夹具移动的移动装置，在石墨舟固定夹具上安装固定好石墨舟后，使用移动装置将固定好的石墨舟移动到导向板的正下方，导向板通过升降装置下移到与石墨舟上表面接触，在导向板的导向套筒内放置工艺点，最后通过工艺点压点装置将工艺点安装在石墨舟的工艺孔内，全部工序均通过机器自动完成，节省了人力，提高了安装效率，提高了劳动生产率。

附图说明

下面结合附图和实施例对本发明进一步说明。

图1是本发明的三维装配示意图；

图2是本发明的主视图；

图3是本发明中石墨舟输送装置与导向装置的三维装配示意图；

图4是本发明中石墨舟固定夹具与石墨舟的三维装配示意图；

图5是本发明中石墨舟固定夹具的三维装配示意图；

图6是本发明中导向板的三维示意图；

图7是本发明中压板的三维示意图；

图8是石墨舟的俯视图。