[发明专利]一种可分离旋转驱动机构及晶圆上下料平台

权利要求书

1.一种可分离旋转驱动机构，其特征在于，包括：

磁流体，所述磁流体的上端设置有磁流体轴；

驱动电机，用于驱动所述磁流体轴旋转，且所述磁流体的下端与驱动电机连接；

导向驱动机构，所述导向驱动机构套设在所述磁流体轴外，并可在所述磁流体轴的带动下旋转；

固定螺钉，所述固定螺钉的底部固定在所述磁流体上，并将所述导向驱动机构限位在所述固定螺钉的螺帽与所述磁流体之间，所述导向驱动机构可沿着所述磁流体轴在竖直方向上的自由位置和驱动位置之间往复运动；

弹性部件，所述弹性部件套设在所述固定螺钉外；所述弹性部件的下端抵靠在所述磁流体上，所述弹性部件的上端抵靠在所述导向驱动机构上，当所述导向驱动机构位于驱动位置时，所述弹性部件为所述导向驱动机构提供向上的弹力。

2.根据权利要求1所述的可分离旋转驱动机构，其特征在于，所述磁流体轴内设置有轴腔，所述导向驱动机构内设置有通孔，所述固定螺钉依次穿过所述通孔和所述轴腔，所述固定螺钉的螺帽支撑在所述通孔的上端四周，所述固定螺钉的下端固定在所述轴腔的底部；所述弹性部件放置在所述轴腔内，所述弹性部件的下端抵靠在所述轴腔的底部。

3.根据权利要求1或2所述的可分离旋转驱动机构，其特征在于，所述导向驱动机构包括驱动装置和导向装置，所述驱动装置和导向装置固定在一起；所述导向装置上设置有导向孔，所述磁流体轴穿插在所述导向孔内；所述驱动装置上设置有螺钉安装孔，所述固定螺钉依次穿过所述螺钉安装孔、导向孔和轴腔。

4.根据权利要求3所述的可分离旋转驱动机构，其特征在于，所述螺钉安装孔包括上段安装孔、中段安装孔和下段安装孔，所述上段安装孔的内径大于螺帽的外径，所述中段安装孔的内径小于螺帽的外径，所述下段安装孔的内径大于所述弹性部件的外径，所述中段安装孔的内径小于所述弹性部件的外径；在所述自由位置时，所述螺帽沉入所述上段安装孔内，并抵靠在所述中段安装孔的上端外周沿；所述弹性部件的上端插入到所述下段安装孔内，并抵靠在所述中段安装孔的下端外周沿。

5.根据权利要求3所述的可分离旋转驱动机构，其特征在于，所述驱动装置的下端面与所述磁流体轴的上端面之间设置有运动间隙，所述运动间隙的竖直间距大于或等于所述自由位置与驱动位置之间的竖直距离。

6.根据权利要求3所述的可分离旋转驱动机构，其特征在于，所述导向装置的内周壁上设置有环形凹槽。

7.根据权利要求1所述的可分离旋转驱动机构，其特征在于，所述固定螺钉内设置有贯穿上下的排气通孔。

8.根据权利要求3所述的可分离旋转驱动机构，其特征在于，所述驱动装置的底部设置有矩形槽，所述磁流体轴的上端设置有能与所述矩形槽配合的轴头，当所述驱动装置位于驱动位置时，所述轴头配合在所述矩形槽内。

9.根据权利要求3所述的可分离旋转驱动机构，其特征在于，所述驱动装置的上端设置有上大下小并且上端开口的梯形槽。

10.一种晶圆上下料平台，包括真空腔、大负载机械手、大负载机械手驱动机构以及可分离旋转驱动机构，所述大负载机械手设置在所述真空腔内，所述大负载机械手驱动机构用于驱动所述大负载机械手在所述真空腔内做上下运动，所述可分离旋转驱动机构固定在所述真空腔的底部；其特征在于，所述可分离旋转驱动机构为权利要求1至9任意一项所述的可分离旋转驱动机构，所述可分离旋转驱动机构的导向驱动机构以及磁流体轴伸入到真空腔内，所述大负载机械手上设置有被驱动机构，所述被驱动机构的下端可与所述导向驱动机构配合连接。