[发明专利]曝光机镜组条纹的改善方法

权利要求书

1.一种曝光机镜组条纹的改善方法，包括步骤1、提供一曝光机，所述曝光机包括至少两个依次排列的投影镜头(10)，其特征在于，还包括如下步骤：

步骤2、提供一测试光罩，所述测试光罩上设有至少一个测量标记图案；

步骤3、选定所述曝光机中的相邻的两个投影镜头(10)；

步骤4、提供一基板(20)，利用该两个投影镜头(10)和所述测试光罩对所述基板(20)进行第一次曝光，在所述基板(20)上形成第一层测量标记(21)；

步骤5、调整选定的两个投影镜头(10)之间的相对距离，使得用该两个投影镜头(10)对基板(20)进行曝光时投影到基板(20)上的图像相对于第一次曝光时投影到基板(20)上的图像在x轴方向和y轴方向上的理论偏差量分别为m微米和n微米，其中m和n均为正数；

步骤6、利用调整后的两投影镜头(10)和测试光罩，对基板(20)进行第二次曝光，在所述基板(20)上形成第二层测量标记(22)；

步骤7、测量第一层测量标记(21)和第二层测量标记(22)在x轴方向和y轴方向上的实际偏差量；

步骤8、计算得到该选定的两投影镜头(10)的接续部偏差量，所述接续部在x轴方向上的偏差量等于第一层测量标记(21)和第二层测量标记(22)在x轴方向上的实际偏差量与m微米之间的差值，接续部在y轴方向上的偏差量等于第一层测量标记(21)和第二层测量标记(22)在y轴方向上的实际偏差量与n微米之间的差值；

步骤9、重复步骤3至步骤8，直至得到所有相邻的投影镜头(10)的接续部偏差量；

步骤10、将得到的各个相邻的投影镜头(10)的接续部偏差量输入曝光机，以补正各个相邻的投影镜头(10)的接续部偏差量，改善曝光机镜组条纹。

2.如权利要求1所述的曝光机镜组条纹的改善方法，其特征在于，所述测量标记图案为十字形。

3.如权利要求2所述的曝光机镜组条纹的改善方法，其特征在于，所述十字形的测量标记图案的横条与竖条的宽度均为15微米，长度均为300微米。

4.如权利要求1所述的曝光机镜组条纹的改善方法，其特征在于，所述投影镜头(10)的宽度为105微米。

5.如权利要求1所述的曝光机镜组条纹的改善方法，其特征在于，所述步骤5中m等于30。

6.如权利要求1所述的曝光机镜组条纹的改善方法，其特征在于，所述步骤5中n等于30。

7.如权利要求1所述的曝光机镜组条纹的改善方法，其特征在于，所述步骤7中通过显微镜测量第一层测量标记(21)和第二层测量标记(22)之间的实际偏差量。

8.如权利要求1所述的曝光机镜组条纹的改善方法，其特征在于，所述步骤1中投影镜头(10)的数量为7个。

9.如权利要求1所述的曝光机镜组条纹的改善方法，其特征在于，所述步骤2中测量标记图案的数量为5个。