[发明专利]曝光机镜组条纹的改善方法

说明书

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种曝光机镜组条纹的改善方法。

背景技术

在显示技术领域，液晶显示器(Liquid Crystal Display，LCD)与有机发光二极管显示器(Organic Light Emitting Diode，OLED)等平板显示器已经逐步取代CRT显示器，广泛的应用于液晶电视、手机、个人数字助理、数字相机、计算机屏幕或笔记本电脑屏幕等。

通常液晶显示面板由彩膜基板(CF，Color Filter)、薄膜晶体管基板(TFT，Thin Film Transistor)、夹于彩膜基板与薄膜晶体管基板之间的液晶(LC，Liquid Crystal)及密封胶框(Sealant)组成，其成型工艺一般包括：前段阵列(Array)制程(薄膜、黄光、蚀刻及剥膜)、中段成盒(Cell)制程(TFT基板与CF基板贴合)及后段模组组装制程(驱动IC与印刷电路板压合)。其中，前段Array制程主要是形成TFT基板，以便于控制液晶分子的运动；中段Cell制程主要是在TFT基板与CF基板之间添加液晶；后段模组组装制程主要是驱动IC压合与印刷电路板的整合，进而驱动液晶分子转动，显示图像。

在液晶显示器的Array制程等平板显示器的制程过程中，经常会用到曝光制程。通常曝光制程的具体过程为，先在涂有光刻胶的基板上方放置掩膜板，然后利用曝光机对基板进行曝光，具体的，曝光机通过开启超高压水银灯发出UV紫外光线，将掩膜板上的图像信息转移到涂有光刻胶的基板表面上，基于掩膜板的图案，光刻胶会有被曝光的部分和未被曝光的部分。再利用显影液对光刻胶进行显影，即可去除光刻胶被曝光的部分，保留光刻胶未被曝光的部分，或者去除光刻胶未被曝光的部分，保留光刻胶被曝光的部分，从而使光刻胶形成所需的图形。

其中，曝光机具有由多个投影镜头拼接而成的投影单元，在所述多个投影镜头之间形成有接续部，所述多个投影镜头在接续部成像存在偏差，会导致曝光后形成在基板上的图形的特征线宽(critical dimension，CD)和重合精度(Overlay，OVL)出现差异，从而在曝光后的基板形成镜组条纹(lens mura)，严重影响面板显示效果。

发明内容

本发明的目的在于提供一种曝光机镜组条纹的改善方法，能够量测并补正曝光机投影镜头的接续部偏差值，改善接续部的特征线宽和重合精度，消除镜组条纹，提升显示质量。

为实现上述目的，本发明提供了一种曝光机镜组条纹的改善方法，包括如下步骤：

步骤1、提供一曝光机，所述曝光机包括至少两个依次排列的投影镜头；

步骤2、提供一测试光罩，所述测试光罩上设有至少一个测量标记图案；

步骤3、选定所述曝光机中的相邻的两个投影镜头；

步骤4、提供一基板，利用该两个投影镜头和所述测试光罩对所述基板进行第一次曝光，在所述基板上形成第一层测量标记；

步骤5、调整选定的两个投影镜头之间的相对距离，使得用该两个投影镜头对基板进行曝光时投影到基板上的图像相对于第一次曝光时投影到基板上的图像在x轴方向和y轴方向上的理论偏差量分别为m微米和n微米，其中m和n均为正数；

步骤6、利用调整后的两投影镜头和测试光罩，对基板进行第二次曝光，在所述基板上形成第二层测量标记；

步骤7、测量第一层测量标记和第二层测量标记在x轴方向和y轴方向上的实际偏差量；

步骤8、计算得到该选定的两投影镜头的接续部偏差量，所述接续部在x轴方向上的偏差量等于第一层测量标记和第二层测量标记在x轴方向上的实际偏差量与m微米之间的差值，接续部在y轴方向上的偏差量等于第一层测量标记和第二层测量标记在y轴方向上的实际偏差量与n微米之间的差值；

步骤9、重复步骤3至步骤8，直至得到所有相邻的投影镜头的接续部偏差量；

步骤10、将得到的各个相邻的投影镜头的接续部偏差量输入曝光机，以补正各个相邻的投影镜头的接续部偏差量，改善曝光机镜组条纹。

所述测量标记图案为十字形。

所述十字形的测量标记图案的横条与竖条的宽度均为15微米，长度均为300微米。

所述投影镜头的宽度为105微米。

所述步骤5中m等于30。

所述步骤5中n等于30。

所述步骤7中通过显微镜测量第一层测量标记和第二层测量标记之间的实际偏差量。

所述步骤1中投影镜头的数量为7个。

所述步骤2中测量标记图案的数量为5个。