[发明专利]硅片表面吹干装置

说明书

技术领域

本发明涉及光伏领域，尤其涉及一种硅片表面吹干装置。

背景技术

目前，硅片在生产过程中，需经过吹干工序，用于将硅片表面吹干，现有市场上的硅片表面吹干装置存在结构复杂、成本高，效率低的问题，由此，急需解决。

发明内容

本发明的目的在于针对上述问题，提供一种硅片表面吹干装置，以解决现有硅片表面吹干装置结构复杂、成本高、效率低的问题。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现：

一种硅片表面吹干装置，包括机座，所述机座上转动连接有上辊轴、下辊轴，所述上辊轴上安装有上辊轮，所述下辊轴上安装有下辊轮，所述上辊轮、下辊轮之间形成有用于运输硅片的输送辊道，机座上位于上辊轮的上部安装有上气管，所述上气管与上气源相连，且上气管上均布有若干个上出气孔，所述机座上位于下辊轮的下部安装有下气管，所述下气管与下气源相连，且下气管上均布有若干个下出气孔。

作为本发明的一种优选方案，所述上气管与上气源相连的管路上设置有上压力调节阀，所述下气管与下气源相连的管路上设置有下压力调节阀。

本发明的有益效果为，所述硅片表面吹干装置结构简单、易于实现，通过设置上气管、下气管，可同时对硅片的两面进行吹干，大大提高了效率。

附图说明

图1为本发明硅片表面吹干装置的结构示意图。

图中:

1、机座；2、上辊轴；3、下辊轴；4、上辊轮；5、下辊轮；6、上气管；7、上气源；8、上压力调节阀；9、上出气孔；10、下气管；11、下气源；12、下压力调节阀；13、下出气孔。

具体实施方式

下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本发明的技术方案。可以理解的是，此处所描述的实施例仅仅用于解释本发明，而非对本发明的限定。

请参照图1所示，图1为本发明硅片表面吹干装置的结构示意图。

于本实施例中，一种硅片表面吹干装置，包括机座1，所述机座1上转动连接有上辊轴2、下辊轴3，所述上辊轴2上安装有上辊轮4，所述下辊轴3上安装有下辊轮5，所述上辊轮4、下辊轮5之间形成有用于运输硅片的输送辊道，机座1上位于上辊轮4的上部安装有上气管6，所述上气管6与上气源7相连，且上气管6与上气源7相连的管路上设置有上压力调节阀8，所述上气管6上均布有若干个上出气孔9，所述机座1上位于下辊轮5的下部安装有下气管10，所述下气管10与下气源11相连，且下气管10与下气源11相连的管路上设置有下压力调节阀12，所述下气管10上均布有若干个下出气孔13。

上述硅片表面吹干装置结构简单、易于实现，通过设置上气管6、下气管10，可同时对硅片的两面进行吹干，大大提高了效率。

以上实施例只是阐述了本发明的基本原理和特性，本发明不受上述实施例限制，在不脱离本发明精神和范围的前提下，本发明还有各种变化和改变，这些变化和改变都落入要求保护的本发明范围内。本发明要求保护范围由所附的权利要求书界定。