[发明专利]一种硅基均热型复合平板热管均热器

权利要求书

1.一种硅基均热型复合平板热管均热器，其特征在于：包括上盖板(1)、下盖板(3)以及设置于上盖板(1)与下盖板(3)之间的蒸汽腔(2)，所述上盖板(1)、下盖板(3)、蒸汽腔(2)围成的空腔中充有工质，所述工质为含磁性颗粒的纳米流体，所述蒸汽腔(2)的内周面设有磁敏感搅动棒(4)。

2.根据权利要求1所述的硅基均热型复合平板热管均热器，其特征在于：所述磁性颗粒占工质总质量的0.1％～0.9％。

3.根据权利要求1所述的硅基均热型复合平板热管均热器，其特征在于：所述上盖板(1)和下盖板(3)的内表面均设有纵横交错的矩形槽道。

4.根据权利要求1-3任一所述的硅基均热型复合平板热管均热器，其特征在于：所述上盖板(1)和下盖板(3)通过在热氧化的硅片上做一层金属掩膜，然后进过ICP刻蚀机对硅进行深度刻蚀得到。

5.根据权利要求4所述的硅基均热型复合平板热管均热器，其特征在于：所述蒸汽腔(2)采用聚二甲基硅氧烷制成。

6.根据权利要求5所述的硅基均热型复合平板热管均热器，其特征在于：所述蒸汽腔(2)通过软刻蚀法制作而成。

7.根据权利要求5所述的硅基均热型复合平板热管均热器，其特征在于：利用氧等离子体分别对上盖板(1)、下盖板(3)与蒸汽腔(2)进行表面改性处理，实现聚二甲基硅氧烷与硅片的键合。

8.根据权利要求1-3任一所述的硅基均热型复合平板热管均热器，其特征在于：所述磁敏感搅动棒(4)数量为四个，分布于蒸汽腔(2)的内四周面。

9.根据权利要求8所述的硅基均热型复合平板热管均热器，其特征在于：所述磁敏感搅动棒(4)采用含有铁磁性颗粒的聚二甲基硅氧烷制成。