[发明专利]传送装置

权利要求书

1.一种传送装置，包括：

载物台；

移送部，结合于所述载物台，以在所述载物台上沿着第一方向进行线性运动；以及

头部，结合于所述移送部，

其中，所述头部包括：

弹性部，由具有伸缩性和气体阻断性的材料构成；

第一面板，结合于所述弹性部的第一表面；以及

吸附驱动部，用于调节所述第一面板的高度，

其中，所述弹性部包括多个凹陷部，该多个凹陷部从作为所述第一表面的相反面的所述弹性部的第二表面朝所述弹性部的厚度方向凹入，

其中，所述多个凹陷部之间由具有伸缩性和气体阻断性的所述材料构成而无空隙，所述多个凹陷部的体积借助于所述第一面板的移动而发生变化。

2.如权利要求1所述的传送装置，其中，所述头部还包括结合于所述第二表面的第二面板，

所述第二面板具有与所述凹陷部重叠的多个孔，

所述多个孔中的各个孔的大小分别小于各个所述凹陷部的大小。

3.如权利要求2所述的传送装置，其中，所述头部包括框架，所述框架包括：

壁部，至少包围所述第一面板和所述弹性部的侧面；以及

盖部，结合于所述壁部的一端，并结合有所述吸附驱动部，

其中，所述第二面板结合于作为所述一端的相反侧的所述壁部的另一端而得到固定，

当所述第一面板运动时，所述弹性部的形状发生变化，所述第一面板和所述第二面板的形状得到维持。

4.如权利要求3所述的传送装置，其中，在所述弹性部与所述盖部之间，所述第一面板沿着所述壁部而上下运动。

5.如权利要求2所述的传送装置，其中，所述第一表面的整个表面贴附于所述第一面板，

所述第二表面中除了所述凹陷部之外的整个表面贴附于所述第二面板。

6.如权利要求1所述的传送装置，其中，所述移送部包括：

一对支撑部，结合于所述载物台；以及

连接部，用于连接所述一对支撑部，

其中，所述头部结合于所述连接部，以沿着与所述第一方向垂直的第二方向进行线性运动。

7.如权利要求6所述的传送装置，其中，所述移送部还包括：

头驱动部，连接所述连接部与所述头部，

其中，所述头驱动部调节所述头部的高度，并沿着朝所述第二方向延伸的所述连接部而进行线性运动。

8.如权利要求7所述的传送装置，其中，所述头驱动部能够原地旋转。

9.如权利要求6所述的传送装置，其中，所述载物台包括沿着所述第一方向延伸的一对引导槽，

所述一对支撑部分别结合于所述一对引导槽而沿着所述一对引导槽进行线性运动。

10.如权利要求1所述的传送装置，其中，所述头部将电子元件吸附而移送，

当吸附所述电子元件时，所述多个凹陷部的体积增加。