[发明专利]激光直接曝光设备及方法

说明书

技术领域

本发明是关于一种激光曝光设备及方法，尤指能够适用于传统显像型液态防焊油墨(或称绿漆)的激光直接曝光设备及方法。

背景技术

一般而言，印刷电路板(Printed Circuit Board，PCB)的表面通常会形成有一防焊层，以保护电路板的线路不被氧化，此防焊层的制备多是采用光蚀刻技术(Photo Lithography)，其制程简述如下：

首先，如图13所示，取得一已完成线路的电路板9，其上形成有至少一焊垫90。其次，如图14所示，于该电路板9上涂布一层制作绿漆的光阻材料91。接着，将该电路板9放进烘箱烘烤，以去除大部分的溶剂。烘烤后，再将该电路板9架上底片(或称光罩)并放进传统的超高压汞灯曝光机进行曝光，其中未被光罩覆盖住的部分(也就是受光的部分)，将因键结而稍微硬化。随后，将曝光后的电路板送入显影机以碱液冲洗，未键结硬化的绿漆将被冲掉，留下剩余的绿漆91’，并露出焊垫90，如图15所示。最后，再将电路板9放进烘箱，使绿漆完全硬化，完成电路板上绿漆的制作。

如上所述，传统的曝光制程是利用超高压汞灯所发出的包含多波段的紫外线(波长320nm至410nm)对光阻材料进行曝光，进而使曝光部分聚合固化，形成具有高光泽度的绿漆。近来，另一种利用激光进行的直接描画的技术(Laser Direct Imaging,LDI)，即不需要底片的无光罩曝光方式，正在广泛地被使用，以取代传统利用光罩的汞灯曝光模式。此种激光直接曝光方式虽是选用波长为350nm至410nm的激光作为光源，但由于是选用单一波长(例如405nm)的激光，与超高压汞灯等的曝光相比，激光直接曝光所制成的绿漆严重失去光泽性，无法与传统汞灯曝光的效果相比，不符合客户要求。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的是提供一种能提升绿漆光泽度的线型激光直接曝光设备及方法，其能沿用传统显像型液态防焊油墨的绿漆材料，且所制作出来的绿漆光泽度能媲美传统汞灯曝光所制作出来的绿漆光泽度。

为达到上述目的，本发明提出一种激光直接曝光设备，激光直接曝光设备大致包括一机台、一激光装置及一减氧装置。该机台具有一台面，供放置一待曝光基板，其中该台面暴露于大气环境中。该激光装置设于该机台，用以输出激光束，以在该待曝光基板的表面进行扫描。该减氧装置与该激光装置同步，用以只对该激光装置正在扫描的区域持续地输出惰性的气体，以确保该待曝光基板的正在被扫描的区域是在减氧环境下进行曝光。

更进一步地，该减氧装置包括一气体供应源及一腔体。该气体供应源用以提供该惰性的气体。该腔体连接该气体供应源，且具有至少一进气口及一出气口。该腔体的进气口供该气体供应源的惰性的气体注入该腔体内；该腔体的出气口对着该待曝光基板的表面，以使该腔体内的惰性的气体得以吹向该待曝光基板的表面，建造该减氧环境。

较佳地，该激光装置的激光束也是从该腔体的出气口射出，而对该待曝光基板进行曝光。

较佳地，该腔体呈圆柱形，且该腔体与该激光装置的激光束同轴。

在另一较佳实施例中，该激光装置用以输出线形的激光。对此，该减氧装置包括一气体供应源及一腔体。该气体供应源用以提供该惰性的气体。该腔体连接该气体供应源，且具有至少一进气口及一出气口。该腔体的进气口供该气体供应源的惰性的气体注入该腔体内；该腔体的出气口正对着该待曝光基板的表面，以使该腔体内的惰性的气体得以吹向该待曝光基板的表面，建造该减氧环境。

较佳地，该激光装置包括间隔排列的多个激光二极管，该些激光二极管所输出的多道激光共同形成该线形的激光；该减氧装置更包括一分流板，该分流板设于该腔体的出气口且具有多个导流孔，多个导流孔分别对应该些激光二极管，以使该些激光二极管的多道激光得以分别从该分流板的导流孔射出，进而对该待曝光基板进行曝光。

较佳地，该减氧装置更包括一框体，该框体的底面压制于该分流板的周缘，以将该分流板固定于该腔体的出气口。