[发明专利]制造多个玻璃件的方法、制造光学件的方法和玻璃件阵列有效
申请号: | 201610601876.0 | 申请日: | 2016-07-27 |
公开(公告)号: | CN106396348B | 公开(公告)日: | 2019-07-05 |
发明(设计)人: | A·布罗克迈尔;A·布雷梅瑟;F·J·桑托斯罗德里奎兹;C·冯克布林斯基;P·佐恩 | 申请(专利权)人: | 英飞凌科技股份有限公司 |
主分类号: | C03B19/00 | 分类号: | C03B19/00;C03B19/09;C03B23/02;G02B3/00 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 郑立柱;张昊 |
地址: | 德国诺伊*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 玻璃件 衬底 工作表面 玻璃 制造 第二模 光学件 凸起部 主面 玻璃转化 衬底去除 相邻玻璃 第一模 | ||
1.一种制造多个玻璃件的方法,所述方法包括:
使玻璃衬底的第一主面与第一模制衬底的第一工作表面接触,所述第一工作表面设置有多个第一凸起部;
使所述玻璃衬底的第二主面与第二模制衬底的第二工作表面接触,所述第二工作表面设置有多个第二凸起部;
将所述玻璃衬底的温度控制为高于玻璃转化温度的温度以形成所述多个玻璃件;
从所述玻璃衬底去除所述第一模制衬底和所述第二模制衬底;以及
分离所述多个玻璃件中的相邻玻璃件,
其中控制所述玻璃衬底的温度以分别适应所述第一模制衬底的所述第一工作表面和所述第二模制衬底的所述第二工作表面,使得:
多个凹陷被形成在所述玻璃衬底的所述第一主面中,每个所述凹陷均延伸至所述第二主面并且布置在所述玻璃衬底的较厚部分之间;以及
多个切口被形成在所述玻璃衬底的所述第二主面中,每个所述切口均延伸至所述第一主面并且布置在所述玻璃衬底的所述较厚部分内,
其中所述较厚部分的厚度被每个所述切口局部地最小化。
2.根据权利要求1所述的方法,还包括:将所述第一模制衬底和所述第二模制衬底按压到一起,同时将所述玻璃衬底的温度控制为高于所述玻璃转化温度的温度。
3.根据权利要求1所述的方法,其中将所述玻璃衬底的温度控制为高于所述玻璃衬底的利特尔顿点的温度。
4.根据权利要求1所述的方法,其中在与所述第二凸起部的位置相对应的位置处分离相邻玻璃件。
5.根据权利要求1所述的方法,其中通过从所述玻璃衬底的所述第一主面去除所述玻璃衬底的材料来分离相邻玻璃件。
6.根据权利要求1所述的方法,其中所述第一模制衬底和所述第二模制衬底包括金属、陶瓷或Si。
7.根据权利要求1所述的方法,其中所述第一凸起部中的至少一个具有从所述第一模制衬底突出的、具有基部和两个腿状部的梯形的形状。
8.根据权利要求7所述的方法,其中根据形成在所述玻璃衬底的所述第一主面中的凹陷来选择所述基部和每个腿状部之间的角度。
9.根据权利要求1所述的方法,其中根据形成在所述玻璃衬底的第一主面中的凹陷来选择所述第一凸起部的形状。
10.根据权利要求1所述的方法,其中作为将所述玻璃衬底的温度控制为高于所述玻璃转化温度的温度的结果,在所述玻璃衬底中形成多个凹陷,并且至少一个所述玻璃件包括具有低表面粗糙度的表面部分,所述表面部分形成一个所述凹陷的表面。
11.根据权利要求1所述的方法,还包括:对齐所述玻璃衬底、所述第一模制衬底和所述第二模制衬底,使得所述第二凸起部相对于所述第一凸起部具有预定的空间关系。
12.根据权利要求1所述的方法,其中所述玻璃件是光学部件,所述玻璃衬底的表面部分限定实施光学部件的有效表面的凹陷。
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