[发明专利]制造多个玻璃件的方法、制造光学件的方法和玻璃件阵列

说明书

本公开涉及制造多个玻璃件的方法、制造光学件的方法以及玻璃衬底中的玻璃件的阵列。其中制造多个玻璃件的方法包括：使玻璃衬底的第一主面与第一模制衬底的第一工作表面接触，第一工作表面设置有多个第一凸起部；以及使玻璃衬底的第二主面与第二模制衬底的第二工作表面接触，第二工作表面设置有多个第二凸起部。该方法还包括：将玻璃衬底的温度控制到高于玻璃转化温度的温度以形成多个玻璃件；从玻璃衬底去除第一和第二模制衬底；以及分离多个玻璃件中相邻玻璃件。

技术领域

本公开涉及制造多个玻璃件的方法、制造光学件的方法以及玻璃衬底中的玻璃件的阵列。

背景技术

诸如反射镜或棱镜的光学件使用诸如蚀刻(例如，湿蚀刻或等离子体辅助蚀刻)的方法以及使用诸如锯切、激光处理的机械方法来制造。开发用于将玻璃图案化为三维形状的新方法。

发明内容

根据一个实施例，制造多个玻璃件的方法包括：使玻璃衬底的第一主面与第一模制衬底的第一工作表面接触，第一工作表面设置有多个第一凸起部；以及使玻璃衬底的第二主面与第二模制衬底的第二工作表面接触，第二工作表面设置有多个第二凸起部。该方法还包括：将玻璃衬底的温度控制到高于玻璃转化温度的温度以形成多个玻璃件；从玻璃衬底去除第一和第二模制衬底；以及分离相邻的多个玻璃件。

根据又一实施例，制造多个光学件的方法包括：图案化第一模制衬底的第一工作表面以形成多个第一凸起部；使玻璃衬底的第一主面与第一模制衬底的第一工作表面接触；以及使玻璃衬底的第二主面与第二模制衬底的第二工作表面接触。该方法还包括：将玻璃衬底的温度控制为高于玻璃转化温度的温度以形成多个光学件；以及分离相邻的多个光学件。

根据又一实施例，配置在玻璃衬底中的玻璃件的阵列包括：多个凹陷，形成在玻璃衬底的第一主面中；以及多个开口，形成在玻璃衬底的第二主面中。

本领域技术人员在阅读以下详细说明和附图的基础上将意识到附加特征和优势。

附图说明

包括附图以提供对本发明的进一步理解并且结合附图组成说明书的一部分。附图示出了本发明的实施例，并且与说明书一起用于解释本发明的原理。将参照以下详细描述更好地理解本发明的其他实施例和预期优点。

图1A至图1C示出了根据实施例的制造多个玻璃件的方法的元件。

图2A至图2D示出了根据实施例的制造光学件的方法的进一步的细节。

图3A至图3C示出了根据实施例的制造光学件的方法的其他元件。

图4示意性示出了根据实施例的制造玻璃件的又一方法。

图5示出了根据实施例的形成在模制衬底中的开口的示例。

图6A示出了根据实施例的方法。

图6B示出了根据又一实施例的方法。

具体实施方式

在以下详细描述中，参照形成说明书的一部分的附图，其中通过可实践本发明的具体实施例来示出附图。关于这点，诸如“顶部”、“底部”、“前”、“后”、“前部”、“尾部”等的方向性术语用于参照所描述附图的定向。由于本发明的实施例的部件可以在多个不同定向上定位，所以方向性术语用于说明的目的而不用于限制。应该理解，可以使用其他实施例，并且在不背离权利要求限定的范围的情况下可以进行结构或逻辑变化。

实施例的描述不是限制性的。具体地，下文描述的实施例的元件可以与不同实施例的元件组合。

本说明书中使用的术语“横向”和“水平”用于描述与衬底(例如，玻璃)的第一表面平行的定向。这例如可以是一片玻璃的平坦表面。

本说明书中使用的术语“垂直”用于描述与玻璃衬底的第一表面垂直布置的定向。