[发明专利]一种基于DDS的碰撞反应池射频电源有效

专利信息
申请号: 201610603012.2 申请日: 2016-07-27
公开(公告)号: CN106169881B 公开(公告)日: 2019-09-27
发明(设计)人: 李明;袁文东;李凯;唐兴斌;赵迎 申请(专利权)人: 钢研纳克检测技术股份有限公司
主分类号: H02M7/48 分类号: H02M7/48;H01J49/02
代理公司: 北京华谊知识产权代理有限公司 11207 代理人: 刘月娥
地址: 100081 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 dds 碰撞 反应 射频 电源
【权利要求书】:
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