[发明专利]一种基于DDS的碰撞反应池射频电源有效
申请号: | 201610603012.2 | 申请日: | 2016-07-27 |
公开(公告)号: | CN106169881B | 公开(公告)日: | 2019-09-27 |
发明(设计)人: | 李明;袁文东;李凯;唐兴斌;赵迎 | 申请(专利权)人: | 钢研纳克检测技术股份有限公司 |
主分类号: | H02M7/48 | 分类号: | H02M7/48;H01J49/02 |
代理公司: | 北京华谊知识产权代理有限公司 11207 | 代理人: | 刘月娥 |
地址: | 100081 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 dds 碰撞 反应 射频 电源 | ||
【说明书】:
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