[发明专利]应用于J-R型静电卡盘的氧化铝陶瓷及其制备方法

权利要求书

1.一种应用于J-R型静电卡盘的氧化铝陶瓷，其特征在于，所述氧化铝陶瓷由以下重量份的组分组成：

所述氧化铝陶瓷通过如下步骤制备：

步骤1：将称取的二氧化钛、二氧化硅和氧化镁粉料混合均匀，然后将混合粉料在900-1100℃下进行预烧3.5-6小时，随炉冷却至常温，然后研磨至粒径为100-200目，得到第一混合粉料；

步骤2：将所述第一混合粉料与α-氧化铝混合均匀，然后研磨至粒径为150-350目，得到第二混合粉料；

步骤3：在所述第二混合粉料中加入有机溶剂和分散剂，进行第一次球磨搅拌；然后加入粘结剂和增塑剂进行第二次球磨搅拌，得到混合浆料；

步骤4：将所述混合浆料在流延机上进行流延，流延结束后将得到的厚度为0.1-1.0mm的流延片进行排胶处理后放入烧结炉在1000-1350℃下烧结2-5.5小时。

2.根据权利要求1所述的应用于J-R型静电卡盘的氧化铝陶瓷，其特征在于，所述氧化铝陶瓷由以下重量份的组分组成：

3.权利要求1-2任一所述的应用于J-R型静电卡盘的氧化铝陶瓷的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

步骤1：将称取的二氧化钛、二氧化硅和氧化镁粉料混合均匀，然后将混合粉料在900-1100℃下进行预烧3.5-6小时，随炉冷却至常温，然后研磨至粒径为100-200目，得到第一混合粉料；

步骤2：将所述第一混合粉料与α-氧化铝混合均匀，然后研磨至粒径为150-350目，得到第二混合粉料；

步骤3：在所述第二混合粉料中加入有机溶剂和分散剂，进行第一次球磨搅拌；然后加入粘结剂和增塑剂进行第二次球磨搅拌，得到混合浆料；

步骤4：将所述混合浆料在流延机上进行流延，流延结束后将得到的厚度为0.1-1.0mm的流延片进行排胶处理后放入烧结炉在1000-1350℃下烧结2-5.5小时。

4.根据权利要求3所述的应用于J-R型静电卡盘的氧化铝陶瓷的制备方法，其特征在于，所述步骤1中预烧的温度为950-1050℃，预烧的时间为3.5-4小时。

5.根据权利要求4所述的应用于J-R型静电卡盘的氧化铝陶瓷的制备方法，其特征在于，所述步骤1中研磨至粒径为100-150目。

6.根据权利要求3所述的应用于J-R型静电卡盘的氧化铝陶瓷的制备方法，其特征在于，所述步骤2中研磨至粒径为200-250目。

7.根据权利要求3所述的应用于J-R型静电卡盘的氧化铝陶瓷的制备方法，其特征在于，所述步骤3中第一次球磨搅拌和第二次球磨搅拌的时间都为24-48小时，所述混合浆料中氧化铝基成分的质量百分比为45-55％。

8.根据权利要求7所述的应用于J-R型静电卡盘的氧化铝陶瓷的制备方法，其特征在于，所述步骤3中，有机溶剂为乙醇/甲乙酮、乙醇/三氯乙烯、乙醇/甲苯、甲苯/正丁醇溶剂体系中的一种或两种，分散剂为磷酸酯、乙氧基化合物、三油酸甘油酯中的一种或几种，粘接剂为聚乙烯醇、丙烯酸乳液、聚丙烯酸铵盐、聚醋酸乙烯酯中的一种或多种，增塑剂为邻苯二甲酸二丁酯、甘油、聚乙二醇、邻苯二甲酸二辛酯中的一种或几种。

9.根据权利要求3所述的应用于J-R型静电卡盘的氧化铝陶瓷的制备方法，其特征在于，所述步骤4中流延片的厚度为0.2-0.3mm。

10.根据权利要求9所述的应用于J-R型静电卡盘的氧化铝陶瓷的制备方法，其特征在于，所述步骤4中烧结的温度为1250-1300℃，烧结的时间为3-4小时。