[发明专利]可调平的版库设备

权利要求书

1.一种可调平的版库设备，其特征在于：包括版库结构、转轴结构和框架结构；所述版库结构安装于所述框架结构，进而能够通过所述框架结构被所述转轴结构调平，所述版库结构还能够相对于所述框架结构被调平；

其中，所述转轴结构包括主转轴、调节机构、框架接口装置和万向轴承，所述主转轴的两端分别连接所述调节机构和万向轴承，所述主转轴还通过框架接口装置与所述框架结构固接，所述调节机构通过调整所述转轴的姿态位置实现所述框架结构及其上的版库结构的调平；

所述版库结构和框架结构之间通过若干调平螺钉实现调平。

2.如权利要求1所述的可调平的版库设备，其特征在于：还包括密封结构，所述密封结构设于所述版库结构上，进而在关闭状态下，使得所述版库结构的对外开口处被密封。

3.如权利要求2所述的可调平的版库设备，其特征在于：所述密封结构包括结构主体、密封门、版库接口板和回推机构，所述结构主体通过所述版库接口板连接所述版库结构或框架结构，所述回推机构均安装于所述结构主体，所述密封门启闭于所述版库结构的对外开口处；所述回推机构被驱动控制所述密封门的启闭。

4.如权利要求3所述的可调平的版库设备，其特征在于：所述密封结构还包括互锁传感器，所述互锁传感器设于所述结构主体，用以检测机械手是否到达取版或放版的预设位置，所述回推机构被驱动参照所述互锁传感器的检测结果控制所述密封门的启闭。

5.如权利要求1所述的可调平的版库设备，其特征在于：所述调节机构包括第一球面轴承、上轴承座、轴承座连接块、楔形块和调节螺钉，所述调节螺钉沿Z向连接所述楔形块，进而通过Z向的调节驱动所述楔形块沿X向调整，所述楔形块通过所述轴承座连接块连接所述上轴承座，所述上轴承座通过所述第一球面轴承连接于所述主转轴的一端，进而随着所述楔形块的X向调整相对所述第一球面轴承的内圈做RY方向的摆动。

6.如权利要求5所述的可调平的版库设备，其特征在于：所述调节机构还包括调整螺钉，所述调整螺钉沿Y向调整轴承座连接块与上轴承座之间的位置，进而使得所述上轴承座相对所述第一球面轴承的内圈做RX方向的摆动。

7.如权利要求1所述的可调平的版库设备，其特征在于：所述万向轴承包括第二球面轴承、下轴承座和Z向调整块，所述下轴承座通过所述第二球面轴承连接所述主转轴的一端，所述Z向调整块通过一顶块调整所述主转轴沿Z向的位置。

8.如权利要求1所述的可调平的版库设备，其特征在于：所述框架结构包括版库支撑架和存储设备支撑架，所述版库支撑架设于所述存储设备支撑架上侧，所述版库结构安装于所述版库支撑架上侧；所述存储设备支撑架底部设有用以锁紧被所述转轴结构调平后位置的锁紧装置。

9.如权利要求1或8所述的可调平的版库设备，其特征在于：所述框架结构上设有气浴接口，气浴接口对外连接惰性气体源，对内通过气浴管接入所述版库结构。

10.如权利要求1或8所述的可调平的版库设备，其特征在于：所述框架结构上设有抽颗粒接口，所述抽颗粒接口通过抽颗粒管接入所述版库结构。

11.如权利要求1所述的可调平的版库设备，其特征在于：所述版库结构包括版架、设于所述版架上的版库，以及设于所述版库中的版槽，掩膜版取放于所述版槽。

12.如权利要求1或11所述的可调平的版库设备，其特征在于：所述版库结构中设有凸版传感器。