[发明专利]一种扫描/透射电子显微镜关联分析用真空移动装置有效
| 申请号： | 201610617959.9 | 申请日： | 2016-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN106098520B | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | 韩晓东;马东锋;毛圣成;吉元;王丽;张隐奇;翟亚迪;张剑飞;王晓冬;李志鹏;栗晓辰;张晴;张泽 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | H01J37/26 | 分类号： | H01J37/26;H01J37/28;H01J37/20 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司11203 | 代理人： | 刘萍 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 透射 电子显微镜 关联 分析 真空 移动 装置 | ||
1.一种SEM/TEM关联分析用真空移动装置，其特征在于：包括与扫描电镜法兰相连接的外真空腔体；安装在外真空腔体底部的二维台；偏心套筒用于TEM样品杆(1)的固定及密封；外真空腔体包括顶部开口式箱体主体、可拆卸密封盖(20)及密封盖上端可拆卸的观察窗(19)；TEM样品杆插入偏心套筒密封前端后与偏心套筒前法兰、偏心套筒腔体、偏心套筒后法兰通过螺栓相互固定，偏心套筒通过套筒支架放置二维台上；二维台从下至上依次包括移动台基板(11)、X/Y方向平移导轨(10)、水平移动板(9)及套筒支架(8)；包括两套推动单元，每套结构如下：推动杆安装于固定在推动杆支架上的微分筒前端，微分筒后端安装内磁环，与推动杆封头外的外磁环形成从动旋转机构；两套推动单元分别用于水平平移板的X/Y方向平移；水平移动板通过带有微分筒的推动杆(12)进行驱动，内磁环(15)通过腔体外磁环(17)的旋转驱动旋转，带动推动杆进行前进/后退的往复运动。
2.根据权利要求1所述的SEM/TEM关联分析用真空移动装置，其特征在于：所述的外真空腔体(4)其材料为金属板材，并通过焊接一体化成型；与扫描电镜相连接的外真空腔体连接法兰(3)通过焊接与外真空腔体(4)密封连接，与扫描电镜法兰通过螺栓连接。
3.根据权利要求1所述的SEM/TEM关联分析用真空移动装置，其特征在于：密封盖(20)为金属密封盖，中间预留圆孔，用于带有钢化玻璃的观察窗(19)的密封固定。
4.根据权利要求1所述的SEM/TEM关联分析用真空移动装置，其特征在于：可拆卸密封盖预留圆孔安装直径观察窗或者观察窗替换为带有电接口的不锈钢法兰。
5.根据权利要求1所述的SEM/TEM关联分析用真空移动装置，其特征在于：外真空腔体与扫描电镜腔体连接法兰配有密封圈，外真空腔体与密封盖连接法兰、观察窗压盖处均设有用于放置对应尺寸真空密封圈的凹槽。
6.根据权利要求1所述的SEM/TEM关联分析用真空移动装置，其特征在于：微分筒精度0.01mm。
7.根据权利要求1所述的SEM/TEM关联分析用真空移动装置，其特征在于偏心套筒密封前端(2)内部采用阶梯式结构，后端焊接密封法兰用于与偏心套筒腔体的连接。
8.根据权利要求1所述的SEM/TEM关联分析用真空移动装置，其特征在于：适应于不同尺寸或适配于不同透射电镜的样品杆，样品杆表面光洁并带有密封圈。
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