[发明专利]无机双膜电容器成片机

权利要求书

1.一种无机双膜电容器成片机，包括分子泵一（21）、分子泵二（31）、分子泵三（32）、真空阀门、机械泵一（19）、机械泵二（26）、罗茨泵（27）、送料电机（17）、锌丝送丝电机（37）、铝丝送丝电机（36），其特征在于在主控室（2）的中间处设有机械手角度旋转轴（5），在机械手角度旋转轴（5）的下方铰连接机械手连杆（9），机械手连杆（9）的下端铰连接机械手（23），在机械手（23）的下方装有机械手电磁铁（25），在主控室（2）内的上壁装有有机室闸板阀（6），在主控室（2）内的下壁上装有主控室闸板阀（24），在主控室（2）内左侧壁上装有电极蒸发室闸板阀（1），在主控室（2）内右侧壁上装有无机室闸板阀（12），在机械手角度旋转轴（5）的左上方设有机械手定位气缸（4）、蒸发挡板换位台（3），在蒸发挡板换位台（3）内设蒸发挡板（39），在主控室（2）的上方外设有机室（7），在有机室（7）的前面设有机材料出品（8），在有机室（7）的右侧用管路连接真空阀门一（10）、真空阀门二（11）的一端和裂解炉（16）上端，在主控室（2）的左侧面外对应电极蒸发闸板阀（1）设有金属蒸发室（40），金属蒸发室（40）的下面用管路连接真空阀门八（33），在主控室（2）的右侧面外对应无机室闸板阀（12）装有无机室（13），在无机室（13）的下方用管路连接真空阀门三（20），在主控室（2）的下面用管路连接真空阀门六（29）和真空阀门九（34）。

2.根据权利要求1所述的无机双膜电容器成片机，其特征在于在金属蒸发室（40）内设有锌丝蒸发坩埚（38）、锌丝送丝电机（37）和铝丝蒸发坩埚（35）、铝丝送丝电机（36）。

3.根据权利要求1所述的无机双膜电容器成片机，其特征在于在无机室（13）内装有电子束蒸发坩埚（14），电子束蒸发坩埚（14）下方为电子束（15）。