[发明专利]无机双膜电容器成片机

说明书

技术领域

本发明属于电容器生产机械设备，特别涉及一种无机双膜电容器成片机。

背景技术

电子元件是一切电子装备、电子信息系统和武器装备控制系统的基础，直接影响装备的性能和功能。装备中的超大规模的集成电路电压要降低到1.8V，即使国外的电容器行业也很难适应这一要求。电容器的生产在不断追求至低电压、大容量、小体积。由于我国的基础工业、设备、工艺及产品与先进国家相比差距很大，尤其是电子工业、面临很多生产困难，现有的生产设备，满足不了形势需要的电容器，而且生产设备不配套，生产的电容器质量难以保证。

发明内容

本发明的目的在于克服上述技术不足，提供一种集多设备为一体，产品质量好，生产效率高的无机双膜电容器成片机。

本发明解决技术问题采用的技术方案是：无机双膜电容器成片机包括分子泵一、分子泵二、分子泵三、真空阀门、机械泵一、机械泵二、罗茨泵、送料电机、锌丝送丝电机、铝丝送丝电机，其特点是在主控室的中间处设有机械手角度旋转轴，在机械手角度旋转轴的下方铰连接机械手连杆，机械手连杆的下端铰连接机械手，在机械手的下方装有机械手电磁铁，在主控室内的上壁装有有机室闸板阀，在主控室内的下壁 上装有主控室闸板阀，在主控室内左侧壁上装有电极蒸发室闸板阀，在主控室内右侧壁上装有无机室闸板阀，在机械手角度旋转轴的左上方设有机械手定位气缸、蒸发挡板换位台，在蒸发挡板换位台内设蒸发挡板，在主控室的上方外设有机室，在有机室的前面设有机材料出品，在有机室的右侧用管路连接真空阀门一、真空阀门二的一端和裂解炉上端，在主控室的左侧面外对应电极蒸发闸板阀设有金属蒸发室，金属在蒸发室内设有锌丝蒸发坩埚、锌丝送丝电机和铝丝蒸发坩埚、铝丝送丝电机，金属蒸发室的下面用管路连接真空阀门八，在主控室的右侧面外对应无机室闸板阀装有无机室，在无机室内装有电子束蒸发坩埚，电子束蒸发坩埚下方为电子束，在无机室的下方用管路连接真空阀门三，在主控室的下面用管路连接真空阀门六和真空阀门九。

本发明的有益效果是：无机双膜电容器成片机可使各种原料在设备中一次形成超薄 无机薄膜技术，节省了多台设备，安装维护方便，不占地面空间，生产的产品质量好，能满足各种高精的电容器使用，整个机械环保卫生，使操作人员省时省力。

附图说明

以下结合附图以实施例具体说明。

图1是无机双膜电容器成片机结构连接关系示意图。

图中，1-电极蒸发室闸板阀；2-主控室；3-蒸发挡板换位台；4-机械手定位气缸；5-机械手角度转换轴；6-有机室闸板阀；7-有机室；8-有机材料出口；9-机械手连杆；10-真空阀门一；11-真空阀二；12-无机室闸板阀；13-无机室；14-电子束蒸发坩埚；15-电子束；16-裂解炉；17-送料电机；18-送料室；19-机械泵一；20-真空阀门三；21-分子泵一；22-真空阀门四；23-机械手；24-主控室闸板阀；25-机械手电磁铁；26-机械泵二；27-罗茨泵；28-真空阀门五；29-真空阀门六；30-真空阀门七；31-分子泵二；32-分子泵三；33-真空阀门八；34-真空阀门九；35-铝丝蒸发坩埚；36-铝丝送丝电机；37-锌丝送丝电机；38-锌丝蒸发坩埚；39-蒸发挡板；40-金属蒸发室。

具体实施方式