[发明专利]组合调零激光大工作距自准直装置与方法

权利要求书

1.组合调零激光大工作距自准直装置，其特征在于，包括光源(1)、透射式准直镜(21)、反射镜(3)、以及反馈成像系统(6)，所述反射镜(3)上设置有角度调整测量装置(4)；光源(1)出射的光束，经过透射式准直镜(21)准直成平行光束后，再由反射镜(3)反射，入射到被测物(5)的表面；从被测物(5)表面反射的光束，再经过反射镜(3)反射后，由反馈成像系统(6)采集成像；

所述反馈成像系统(6)为以下两种形式中的一种：

第一、反馈成像系统(6)包括图像传感器成像系统和四象限探测器成像系统；

所述图像传感器成像系统包括第一反馈分光镜(61)和设置在透射式准直镜(21)焦点处的图像传感器(65)；从被测物(5)表面反射的光束，再经过反射镜(3)反射后，先后经过透射式准直镜(21)投射、第一反馈分光镜(61)反射、由图像传感器(65)采集成像；在被测物(5)表面与光轴垂直的条件下，图像传感器(65)所成点像在像面中心位置；

或

所述图像传感器成像系统包括第一反馈分光镜(61)、第一反馈物镜(63)和设置在第一反馈物镜(63)焦点处的图像传感器(65)；从被测物(5)表面反射的光束，再经过反射镜(3)反射后，先后经过第一反馈分光镜(61)反射、第一反馈物镜(63)透射、由图像传感器(65)采集成像；在被测物(5)表面与光轴垂直的条件下，图像传感器(65)所成点像在像面中心位置；

所述四象限探测器成像系统包括第二反馈分光镜(62)和设置在透射式准直镜(21)焦点处的四象限探测器(66)；从被测物(5)表面反射的光束，再经过反射镜(3)反射后，先后经过透射式准直镜(21)投射、第二反馈分光镜(62)反射、由四象限探测器(66)采集成像；在被测物(5)表面与光轴垂直的条件下，四象限探测器(66)所成点像在像面中心位置；

或

所述四象限探测器成像系统包括第二反馈分光镜(62)、第二反馈物镜(64)和设置在第二反馈物镜(64)焦点处的四象限探测器(66)；从被测物(5)表面反射的光束，再经过反射镜(3)反射后，先后经过第二反馈分光镜(62)反射、第二反馈物镜(64)透射、由四象限探测器(66)采集成像；在被测物(5)表面与光轴垂直的条件下，四象限探测器(66)所成点像在像面中心位置；

第二、反馈成像系统(6)包括第一反馈分光镜(61)、以及由导轨(68)承载的图像传感器(65)和四象限探测器(66)，所述导轨(68)共有两个停顿位置，一个停顿位置使图像传感器(65)像面中心对应透射式准直镜(21)的焦点位置，另一个停顿位置使四象限探测器(66)像面中心对应透射式准直镜(21)的焦点位置；

或

反馈成像系统(6)包括第一反馈分光镜(61)、第一反馈物镜(63)、以及由导轨(68)承载的图像传感器(65)和四象限探测器(66)，所述导轨(68)共有两个停顿位置，一个停顿位置使图像传感器(65)像面中心位于第一反馈物镜(63)的焦点位置，另一个停顿位置使四象限探测器(66)像面中心位于第一反馈物镜(63)的焦点位置；

所述角度调整测量装置(4)包括设置在反射镜(3)上的角度调整装置、角度偏转测量装置、以及万向轴(43)，角度调整装置包括第一驱动器(411)和第二驱动器(412)；第一驱动器(411)与万向轴(43)的连线垂直第二驱动器(412)与万向轴(43)的连线；角度偏转测量装置为共光路自准直仪(429)。