[发明专利]组合调零激光大工作距自准直装置与方法

说明书

本发明属于精密测量技术领域与光学工程领域，具体涉及一种组合调零激光大工作距自准直装置与方法；该装置由光源、准直镜、反射镜、以及反馈成像系统组成；该方法通过调整反射镜，使反射光束回到反馈成像系统像面中心，再利用反射镜上的角度偏转测量装置来得到被测物表面的角度变化；由于本发明在传统自准直角度测量系统上增加了反射镜，因此能够避免被测物反射光偏离测量系统而导致无法测量的问题，进而具有在相同工作距离下增加自准直工作范围，或在相同自准直工作范围下增加工作距离的优势；此外，准直镜、反馈成像系统、反射镜等的具体设计，使本发明还具有结构简单、制作成本低；在不稳定测量环境下同样能够测量；以及快速测量的技术优势。

技术领域

本发明属于精密测量技术领域与光学工程领域，具体涉及一种组合调零激光大工作距自准直装置与方法。

背景技术

在精密测量技术领域、光学工程领域、尖端科学实验领域和高端精密装备制造领域中，迫切需求在大工作距下进行大工作范围、高精度激光自准直技术。它支撑着上述领域技术与仪器装备的发展。

在精密测量技术与仪器领域，激光自准直仪与圆光栅组合，可以进行任意线角度测量；激光自准直技术与多面棱体组合，可以进行面角度测量和圆分度测量；最大工作距离从几米至上百米；分辨力从0.1角秒至0.001角秒。

在光学工程领域和尖端科学实验领域，激光自准直仪与两维互为垂直的两个圆光栅组合，可以进行空间角度的测量；由两路激光自准直仪组成位置基准，可以进行两两光轴夹角或平行性的测量。角度工作范围几十角秒至几十角分。

在尖端科学实验装置和高端精密装备制造领域，采用激光自准直仪可以测量尖端科学实验装置和高端精密装备回转运动基准的角回转精度，测量直线运动基准的空间直线精度和两两运动基准的平行度和垂直度。

激光自准直技术具有非接触、测量精度高、使用方便等优点，在上述领域中具有广泛应用。

传统自准直仪如图1所示，该系统包括光源1、透射式准直镜21、以及反馈成像系统6；光源1出射的光束，经过透射式准直镜21准直成平行光束后，入射到被测物5的反射面；从被测物5反射面反射的光束，由反馈成像系统6采集成像。这种结构下，只有从被测物5表面反射的光束近原路返回，才能被反馈成像系统6采集成像，进而实现有效测量。这个近原路返回的条件限制，使得该系统存在以下两方面缺点：

第一、被测对象5反射镜面法线与激光自准直仪光轴夹角的范围不能太大，否则会造成反射光束偏离激光自准直仪光学系统的入瞳，进而导致无法实现自准直和微角度测量；

第二、被测对象5反射镜面距离测量激光自准直仪入瞳不能太远，否则只要反射光轴与自准直仪光轴偏离微小角度就会造成反射光束偏离激光自准直仪光学系统的入瞳，进而导致无法实现自准直和微角度测量。

以上两个问题，使传统自准直仪器只能限定在小角度、小工作距离下使用。

发明内容

针对传统自准直仪所存在的两个问题，本发明公开了一种组合调零激光大工作距自准直装置与方法，同传统自准直仪相比，具有在相同工作距离下显著增加自准直工作范围，或在相同自准直工作范围下显著增加工作距离的技术优势。

本发明的目的是这样实现的：

组合调零激光大工作距自准直装置，包括光源、透射式准直镜、反射镜、以及反馈成像系统，所述反射镜上设置有角度调整测量装置；光源出射的光束，经过透射式准直镜准直成平行光束后，再由反射镜反射，入射到被测物的表面；从被测物表面反射的光束，再经过反射镜反射后，由反馈成像系统采集成像；

所述反馈成像系统为以下两种形式中的一种：

第一、反馈成像系统包括图像传感器成像系统和四象限探测器成像系统；