[发明专利]抗蚀剂剥离液组合物及使用其的抗蚀剂剥离方法

权利要求书

1.一种抗蚀剂剥离液组合物，其包含有机胺化合物、选自下述化学式2～4所表示的酰胺组成的组中的一种以上的化合物和在苯环具有酸性取代基的苯并三唑系防腐蚀剂：

化学式2

化学式3

化学式4

2.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其中，所述有机胺化合物为选自由甲胺、乙胺、一异丙胺、正丁胺、仲丁胺、异丁胺、叔丁胺、戊胺、二甲胺、二乙胺、二丙胺、二异丙胺、二丁胺、二异丁胺、甲基乙胺、甲基丙胺、甲基异丙胺、甲基丁胺、甲基异丁胺、三甲胺、三乙胺、三丙胺、三丁胺、三戊胺、二甲基乙胺、甲基二乙胺、甲基二丙胺、胆碱、一乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、二甘醇胺、一丙醇胺、一异丙醇胺、2-氨基乙醇、2-(乙基氨基)乙醇、2-(甲基氨基)乙醇、N-甲基二乙醇胺、N,N-二甲基乙醇胺、N,N-二乙基氨基乙醇、2-(2-氨基乙基氨基)-1-乙醇、1-氨基-2-丙醇、2-氨基-1-丙醇、3-氨基-1-丙醇、4-氨基-1-丁醇、二丁醇胺、(丁氧基甲基)二乙胺、(甲氧基甲基)二乙胺、(甲氧基甲基)二甲胺、(丁氧基甲基)二甲胺、(异丁氧基甲基)二甲胺、(甲氧基甲基)二乙醇胺、(羟基乙基氧甲基)二乙胺、甲基(甲氧基甲基)氨基乙烷、甲基(甲氧基甲基)氨基乙醇、甲基(丁氧基甲基)氨基乙醇、2-(2-氨基乙氧基)乙醇、1-(2-羟基乙基)哌嗪、1-(2-氨基乙基)哌嗪、1-(2-羟基乙基)甲基哌嗪、N-(3-氨基丙基)吗啉、2-甲基哌嗪、1-甲基哌嗪、1-氨基-4-甲基哌嗪、1-苄基哌嗪、1-苯基哌嗪、四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵、四丁基氢氧化铵、一甲基三丙基氢氧化铵、(2-羟基乙基)三丙基氢氧化铵和(1-羟基丙基)三甲基氢氧化铵组成的组中的一种以上。

3.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其中，所述防腐蚀剂为下述化学式5所表示的化合物：

化学式5

式中，R₁和R₂中的至少一个为-COOH或-SO₃H，

当R₁和R₂中只有一个为-COOH或-SO₃H时，另一个为氢原子、卤素原子、甲基、-OH、-OR₃或-COOR₄，R₃和R₄各自独立地为碳原子数1～12的烷基。

4.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其中，所述防腐蚀剂为选自由下述化学式6～11所表示的化合物组成的组中的一种以上：

化学式6

化学式7

化学式8

化学式9

化学式10

化学式11

5.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液组合物，其进一步包含二元醇系溶剂。

6.根据权利要求5所述的抗蚀剂剥离液组合物，其包含有机胺化合物0.1～10重量％、在苯环具有酸性取代基的苯并三唑系防腐蚀剂0.01～5重量％、以及选自化学式2～4所表示的酰胺组成的组中的一种以上的化合物和二元醇系溶剂合计85～99重量％。

7.根据权利要求5所述的抗蚀剂剥离液组合物，其包含有机胺化合物0.1～10重量％、在苯环具有酸性取代基的苯并三唑系防腐蚀剂0.01～5重量％、选自化学式2～4所表示的酰胺组成的组中的一种以上的化合物15～60重量％和二元醇系溶剂25～75重量％。

8.根据权利要求1～7中任一项所述的抗蚀剂剥离液组合物，其用于剥离形成有金属配线的基板的抗蚀剂，所述金属配线包含选自由铝、铜和钼组成的组中的金属。

9.一种抗蚀剂的剥离方法，其中，用权利要求1～7中任一项所述的抗蚀剂剥离液组合物对蒸镀有导电性金属膜的基板的蚀刻工序后残留的抗蚀剂进行剥离。