[发明专利]X射线管真空度的检测方法有效
申请号: | 201610676742.5 | 申请日: | 2016-08-17 |
公开(公告)号: | CN106323541B | 公开(公告)日: | 2019-01-08 |
发明(设计)人: | 刘斌;张晓梅;曾春辉;冯家豪;杨晓风 | 申请(专利权)人: | 成都凯赛尔电子有限公司 |
主分类号: | G01L21/30 | 分类号: | G01L21/30 |
代理公司: | 成都领航高智知识产权代理有限公司 51285 | 代理人: | 王斌 |
地址: | 610500 四川*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电流表 钛泵 读取 输出电压调节 档位调节 离子电流 检测 电源 标记位置 电源连接 真空空间 排气管 磁片 生产工艺 连通 串联 | ||
1.一种X射线管真空度的检测方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1,将电流表与钛泵串联后与电源连接,该钛泵的排气管与待检测的X射线管管内真空空间连通;
步骤2,将所述电流表的档位调节为μA档,将所述电源的输出电压调节至2-4kV,读取所述电流表的读数I0,得到所述X射线管的本底电流I0;以及
步骤3,在所述钛泵两侧标记位置分别设置磁片,将所述电流表的档位调节为mA档,将所述电源的输出电压调节至3.8-4.2kV,读取所述电流表的读数Ii,若Ii-I0=0时,则P≤3×10-5Pa;
其中,P为X射线管的真空度,单位为Pa;Ii为离子电流,单位为μA。
2.根据权利要求1所述的X射线管真空度的检测方法,其特征在于,所述步骤3中,若Ii-I0>0时,根据公式Ii-I0=K(P-3×10-5)得到P>3×10-5Pa,其中,K为正的常数。
3.根据权利要求1或2所述的X射线管真空度的检测方法,其特征在于,所述步骤3中,若所述电流表的读数Ii<0.1mA,则将该电流表的档位调至μA档。
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