[发明专利]X射线管真空度的检测方法

说明书

本发明公开一种X射线管真空度的检测方法，包括以下步骤：步骤1，将电流表与钛泵串联后与电源连接，该钛泵的排气管与待检测的X射线管管内真空空间连通；步骤2，将所述电流表的档位调节为μA档，将所述电源的输出电压调节至2‑4kV，读取所述电流表的读数I₀，得到所述X射线管的本底电流I₀；以及步骤3，在所述钛泵两侧标记位置分别设置磁片，将所述电流表的档位调节为mA档，将所述电源的输出电压调节至3.8‑4.2kV，读取所述电流表的读数I_i，若I_i‑I₀＝0时，则P≤3×10^‑5Pa；P为X射线管的真空度，单位为Pa；I_i为离子电流，单位为μA。它通过测定其离子电流就能判断该X射线管的真空度是否符合要求，以对X射线管的生产工艺、质量进行控制。

技术领域

本发明涉及X射线管真空度的检测技术，具体涉及X射线管真空度的检测方法。

背景技术

X射线管作为电真空器件，其管内的真空度直接影响着管子的高压绝缘性能，真空度太低时的气体电离也会影响X射线的发射。

因为传统的真空规无法进入X射线管的内部检测，所以目前行业内没有直接检测X射线管管内真空度的仪器，使得整管的真空度检测有一定困难。

为此，期望寻求一种技术方案，以至少减轻上述问题。

发明内容

本发明要解决的技术问题是，提供一种X射线管真空度的检测方法。

为解决一方面的技术问题，本发明采用如下技术方案。

一种X射线管真空度的检测方法，包括以下步骤：

步骤1，将电流表与钛泵串联后与电源连接，该钛泵的排气管与待检测的X射线管管内真空空间连通；

步骤2，将所述电流表的档位调节为μA档，将所述电源的输出电压调节至2-4kV，读取所述电流表的读数I₀，得到所述X射线管的本底电流I₀；以及

步骤3，在所述钛泵两侧标记位置分别设置磁片，将所述电流表的档位调节为mA档，将所述电源的输出电压调节至3.8-4.2kV，读取所述电流表的读数I_i，若I_i-I₀＝0时，则P≤3×10^-5Pa；

其中，P为X射线管的真空度，单位为Pa；I_i为离子电流，单位为μA。

所述步骤3中，若I_i-I₀＞0时，根据公式I_i-I₀＝K(P-3×10^-5)得到P＞3×10^-5Pa，其中，K为正的常数。

所述步骤3中，若所述电流表的读数I_i＜0.1mA，则将该电流表的档位调至μA档。

本发明具有下述有益技术效果。

本发明利用在钛泵两侧标记位置分别设置磁片，并给钛泵施加高压，这样在磁场和强电场的作用下，待检测的X射线管的真空空间内的带电离子作高速运动，并与该X射线管的真空空间内的气体分子发生碰撞电离，在电场作用下所产生的离子电流与残余气体密度即真空度近似成正比例关系，通过测定其离子电流就能判断该X射线管的真空度是否符合要求，以对X射线管的生产工艺、质量进行控制。

附图说明

图1示意性示出本发明涉及的检测时设备连接图。

具体实施方式