[发明专利]光致抗蚀剂剥离剂组合物

权利要求书

1.一种光致抗蚀剂去除用剥离剂组合物，相对于所述剥离剂组合物的总重量而包含：

15重量％至80重量％的非质子性极性溶剂，包含有N,N-二甲基丙酰胺；

25重量％至80重量％的质子性极性溶剂；以及

1重量％至15重量％的胺系化合物。

2.如权利要求1所述的光致抗蚀剂去除用剥离剂组合物，其中，所述非质子性极性溶剂还包含从如下的物质中选择的一种或一种以上的物质：

二甲亚砜、N-甲基甲酰胺、N-甲基-2-吡咯烷酮、N,N-二甲基乙酰胺、N,N-二甲基甲酰胺、N,N-二乙基甲酰胺、N,N-二甲基咪唑、γ-丁内酯、环丁砜、四氢糠醇。

3.如权利要求1所述的光致抗蚀剂去除用剥离剂组合物，其中，所述质子性极性溶剂是从如下的物质中选择的一种或一种以上的物质：

乙二醇、二乙二醇、三乙二醇、四乙二醇、乙二醇甲醚、乙二醇乙醚、乙二醇丁醚、二乙二醇甲醚、二乙二醇乙醚、二乙二醇丁醚、三乙二醇甲醚、三乙二醇乙醚、三乙二醇丁醚、二丙二醇甲醚、二乙二醇二甲醚、二丙二醇甲醚以及二丙二醇乙醚。

4.如权利要求1所述的光致抗蚀剂去除用剥离剂组合物，其中，所述胺系化合物是从如下的物质中选择的一种或一种以上的物质：

单乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、甘醇胺、二甘醇胺、单异丙醇胺、2-(2-氨基乙氧基)乙醇、氨乙基乙醇、1-(2-羟乙基)哌嗪、1-(2-氨乙基)哌嗪、1-(2-羟乙基)甲基哌嗪、1-甲基哌嗪、2-甲基哌嗪以及1-氨基-4-甲基哌嗪。

5.如权利要求1所述的光致抗蚀剂去除用剥离剂组合物，其中，相对于所述剥离剂组合物的总重量而还包含：

0.0001重量％至2重量％的防腐剂。

6.如权利要求5所述的光致抗蚀剂去除用剥离剂组合物，其中，所述防腐剂是从如下的物质中选择的一种或一种以上的物质：

山梨醇、木糖醇、邻苯二酚、连苯三酚、没食子酸、2-丁炔-1,4-二醇、邻苯二甲酸、邻苯二甲酸酐、水杨酸、抗坏血酸以及三唑系化合物。

7.如权利要求1所述的光致抗蚀剂去除用剥离剂组合物，其中，

相对于所述剥离剂组合物的总重量，包含有所述N,N-二甲基丙酰胺的非质子性极性溶剂为15重量％至31重量％；

相对于所述剥离剂组合物的总重量，所述质子性极性溶剂为65重量％至80重量％；

相对于所述剥离剂组合物的总重量，所述胺系化合物为1重量％至10重量％。

8.如权利要求7所述的光致抗蚀剂去除用剥离剂组合物，其中，

相对于所述剥离剂组合物的总重量，包含有所述N,N-二甲基丙酰胺的非质子性极性溶剂为15重量％至21重量％；

相对于所述剥离剂组合物的总重量，所述质子性极性溶剂为75重量％至80重量％；

相对于所述剥离剂组合物的总重量，所述胺系化合物为2重量％至5重量％。

9.如权利要求7所述的光致抗蚀剂去除用剥离剂组合物，其中，

相对于所述剥离剂组合物的总重量，包含有所述N,N-二甲基丙酰胺的非质子性极性溶剂为29重量％至31重量％；

相对于所述剥离剂组合物的总重量，所述质子性极性溶剂为65重量％至69重量％；

相对于所述剥离剂组合物的总重量，所述胺系化合物为1重量％至6重量％。

10.如权利要求7所述的光致抗蚀剂去除用剥离剂组合物，其中，

相对于所述剥离剂组合物的总重量，包含有所述N,N-二甲基丙酰胺的非质子性极性溶剂超过21重量％且不足29重量％；

相对于所述剥离剂组合物的总重量，所述质子性极性溶剂为67重量％至77重量％；

相对于所述剥离剂组合物的总重量，所述胺系化合物为1重量％至6重量％。