[发明专利]一种混液槽

说明书

技术领域

本发明涉及半导体加工领域，尤其涉及一种混液槽。

背景技术

在清洗或蚀刻晶圆的过程中，混液槽用于两种或两种以上的液体混合。在混液槽内进行混液时释放大量气体或液体，由于混液槽为密闭结构，气体或液体不能快速排出，从而导致混液槽内压力过大，引起混液槽爆炸，十分危险。

为了防止混液槽爆炸，发明人想到为混液槽安装泄压装置。现有泄压装置结构主要有两大类:弹簧式和杠杆式。弹簧式是指阀瓣与阀座的密封靠弹簧的作用力，杠杆式是靠杠杆和重锤的作用力。现有泄压装置在排气泄压过程中，气体会带有酸液或碱液，酸液或碱液也随着气体一起排出，不仅造成污染，还非常危险。

发明内容

针对现有混液槽酸液或碱液随气体一起排出，造成污染且不安全的问题，本发明提出一种混液槽。

本发明所采用的技术方案具体是这样实现的：

本发明提供了一种混液槽，混液槽的顶部接有泄压装置，泄压装置包括管体，管体内壁设有至少一片挡板，挡板的径向截面尺寸小于管体的径向截面尺寸以在管体内形成限流通道。

为了便于挡板上的酸液或碱液流入混液槽，挡板的末端向下弯曲。

为了增大限流通道的长度，同时增加气体与挡板的接触面积，多个挡板交错分布在管体内壁。

优选的，泄压装置为杠杆式泄压阀。

优选的，挡板材质为聚丙烯。

本发明通过在泄压装置管体的内壁设有挡板，使排出的气体中带有的酸液或碱液遇到挡板后冷凝聚集在挡板上，多个挡板交错分布在管体内形成限流通道，增大了气体与挡板的接触面，确保排出的气体中带有的酸液或碱液都能在挡板上冷凝；随着挡板上酸液或碱液越来越多，酸液或碱液在自身重力的作用下落入混液槽，确保酸液或碱液不会随着气体排出造成污染，保证了操作安全；为了便于挡板上的酸液或碱液流入混液槽，挡板的末端向下弯曲。

附图说明

图1是混液槽的结构图；

图2-1是杠杆式泄压阀排气状态下的截面图；

图2-2是杠杆式泄压阀闭合状态下的截面图。

具体实施方式

为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明，使本发明的上述及其它目的、特征和优势将更加清晰。并未刻意按比例绘制附图，重点在于示出本发明的主旨。

图1所示的混液槽，顶部设有开口，开口处固定有泄压阀101，泄压阀101可采用螺栓固定的方式与混液槽连接。泄压阀101可以直接采用现有泄压阀，泄压阀101可以是弹簧式泄压阀或杠杆式泄压阀，图2-1和图2-2采用的是杠杆式泄压阀。图2-1所示为排气状态下，气体压力过大后顶开重锤气体排出；图2-2所示为气体排出后，混液槽内压力变小，重锤在自身重力的作用下闭合泄压阀。

这种现有的泄压阀虽然能够排出混液槽内的气体，防止混液槽爆炸，但排气过程中，气体会带有酸液或碱液，酸液或碱液也随着气体一起排出，不仅造成污染，还非常危险。如图2-1和图2-2所示，为了防止酸液或碱液随气体一起排出，在泄压阀管体102内壁上设有挡板103。挡板103至少为一片，管体内形成限流通道，挡板103的径向截面尺寸要小于管体102的径向截面尺寸，即挡板103不能阻止气体的排出。多个挡板103交错分布在管体102内壁上，多个交错分布的挡板103有利于增加限流通道的长度，增大了气体与挡板103的接触面积，确保气体中的酸液或碱液全部冷凝在挡板103上。如图2-1和图2-2所示为两片挡板103，两片挡板103在水平方向上和竖直方向上均交错的设置在管体102内壁上。为了利于挡板103上的酸液或碱液滴落，挡板103的末端向下弯曲。挡板103的材料一般选用聚丙烯。

本发明通过在泄压装置管体的内壁设有挡板，使排出的气体中带有的酸液或碱液遇到挡板后冷凝聚集在挡板上，多个挡板交错分布在管体内形成限流通道，增大了气体与挡板的接触面，确保排出的气体中带有的酸液或碱液都能在挡板上冷凝，随着挡板上酸液或碱液越来越多，酸液或碱液在自身重力的作用下落入混液槽，确保酸液或碱液不会随着气体排出造成污染，保证了操作安全。

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