[发明专利]一种真空封装发光气体气室系统及其封装方法有效
申请号: | 201610750448.4 | 申请日: | 2016-08-26 |
公开(公告)号: | CN106206214B | 公开(公告)日: | 2018-01-16 |
发明(设计)人: | 刘兴宇;邵志强;桂永雷;王辉;张鹏;孙权 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十九研究所 |
主分类号: | H01J9/385 | 分类号: | H01J9/385;H01J9/395 |
代理公司: | 哈尔滨市松花江专利商标事务所23109 | 代理人: | 牟永林 |
地址: | 150001 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空 封装 发光 气体 系统 及其 方法 | ||
1.一种真空封装发光气体气室系统,其特征在于:一种真空封装发光气体气室系统包括抽真空装置(1)、可开启密封腔体(2)、连接杆(4)、第一磁条(5)、第二磁条(6)、第三磁条(7)、第四磁条(9)、进气装置(10)及光电二极管(12);所述的可开启密封腔体(2)为长方体结构,且沿长度方向水平放置;所述的可开启密封腔体(2)材质为石英;
在可开启密封腔体(2)的左右侧面上分别设有抽真空装置(1)及进气装置(10),在可开启密封腔体(2)内部分别设有连接杆(4)、第一磁条(5)、第四磁条(9)及光电二极管(12),在可开启密封腔体(2)外部分别设有第二磁条(6)及第三磁条(7);所述的第一磁条(5)位于可开启密封腔体(2)内部侧壁上,且与设置在可开启密封腔体(2)外部的第二磁条(6)相吸,在第一磁条(5)上设有连接杆(4);所述的第四磁条(9)位于可开启密封腔体(2)底部内壁上,且与设置在可开启密封腔体(2)外部的第三磁条(7)相吸;
所述的连接杆(4)、第一磁条(5)、第二磁条(6)、第三磁条(7)及第四磁条(9)构成三维磁力对准平台;
在可开启密封腔体(2)上部及底部沿宽度方向分别设有上部凹槽及底部凹槽,所述的上部凹槽与底部凹槽相对设置,且上部凹槽与底部凹槽尺寸相同,在上部凹槽与底部凹槽之间的腔体右侧设有光电二极管(12),在上部凹槽及底部凹槽底面分别设有环形电极板(13),且环形电极板(13)位于可开启密封腔体(2)外部;
当可开启密封腔体(2)内输入气体后,并开启与环形电极板(13)相连接的高压交流电源时,上部凹槽与底部凹槽之间的腔体内形成有紫外固化光源(11)。
2.根据权利要求1所述的一种真空封装发光气体气室系统,其特征在于所述的抽真空装置(1)由真空泵和压力计组成。
3.根据权利要求2所述的一种真空封装发光气体气室系统,其特征在于在真空泵与可开启密封腔体(2)之间设有气体阀门。
4.根据权利要求1所述的一种真空封装发光气体气室系统,其特征在于所述的进气装置(10)由进气管、压力控制计和流量计混合组成。
5.根据权利要求4所述的一种真空封装发光气体气室系统,其特征在于所述的进气管为十字管路。
6.根据权利要求4所述的一种真空封装发光气体气室系统,其特征在于在进气管与可开启密封腔体(2)之间设有气体阀门。
7.根据权利要求1所述的一种真空封装发光气体气室系统,其特征在于所述的环形电极板(13)与高压交流电源相连接;所述的环形电极板为圆形铜片;所述的高压交流电源的电压为1000V。
8.根据权利要求1所述的一种真空封装发光气体气室系统,其特征在于所述的第一磁条(5)上设有连接杆(4)是通过热熔胶进行连接。
9.如权利要求1所述的一种真空封装发光气体气室系统的封装方法,其特征在于:一种真空封装发光气体气室系统的封装方法具体是按以下步骤进行的:
一、首先将氟化镁窗口片(8)的粘接面均匀涂覆紫外固化胶,然后将氟化镁窗口片(8)底面通过热熔胶固定于第四磁条(9)上,再将石英腔体(3)顶面通过热熔胶固定于连接杆(4)上,最后利用抽真空装置(1)将可开启密封腔体(2)抽到真空系统的极限真空;
二、接通电源,利用进气装置(10)输入气体,通过进气装置(10)和真空装置(1)调节可开启密封腔体(2)的压强,直至可开启密封腔体(2)压强和气体比例达到光电二极管(12)电流最大,然后利用三维磁力对准平台进行调节,使氟化镁窗口片(8)与石英腔体(3)接触,紫外固化,即完成一种真空封装发光气体气室系统的封装方法。
10.根据权利要求9所述的一种真空封装发光气体气室系统的封装方法,其特征在于所述的输入气体为氩气与氮气的混合气体。
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