[发明专利]激光加工装置及方法

说明书

本发明涉及一种激光加工装置及方法；激光加工装置包括：激光发射器，所述激光发射器能够发出激光；驱动机构，设置于所述激光发射器的一侧；棱镜，所述棱镜与所述驱动机构相联动，所述驱动机构能够驱动所述棱镜运动，以使所述棱镜进入所述激光发射器发出的激光的路径，并对所述激光发射器发出的激光进行反射；倍频片，所述棱镜能够将所述激光发射器发出的激光反射至所述倍频片上，所述激光发射器能够发出激光在所述倍频片上形成可见光形成的光斑图像；及，检测机构，所述检测机构能够采集所述光斑图像的信息，并对所述光斑图像的信息进行分析。上述激光加工装置及方法能够对光斑进行实时监控。

技术领域

本发明涉及激光加工技术，特别是涉及激光加工装置及方法。

背景技术

在激光加工领域，特别是LED晶圆激光微细精密切割行业中，由于激光器本身的老化以及周围环境的温度、湿度等影响，会导致激光光斑发生变形。而光斑的变形一方面导致光斑的功率分布发生变化，另一方面致使激光功率的变化。这些变化带来的后果轻微一点的可能只是影响外观，例如出现崩边、崩角现象。重则可能导致晶圆无法正常切割开，以致影响正常裂片而出现的双晶或麻点双晶。更为严重的是导致反向电流测试不良或出现大面积划伤等现象，导致整片报废，给客户造成重大损失。

发明内容

基于此，有必要提供一种在激光加工时能够对光斑进行实时监控的激光加工装置，同时，还提供一种使用该激光加工装置的激光加工方法。

一种激光加工装置，包括：

激光发射器，所述激光发射器能够发出激光；

驱动机构，设置于所述激光发射器的一侧；

棱镜，所述棱镜与所述驱动机构相联动，所述驱动机构能够驱动所述棱镜运动，以使所述棱镜进入所述激光发射器发出的激光的路径，并对所述激光发射器发出的激光进行反射；

倍频片，所述棱镜能够将所述激光发射器发出的激光反射至所述倍频片上，所述激光发射器能够发出激光在所述倍频片上形成可见光形成的光斑图像；及

检测机构，所述检测机构能够采集所述光斑图像的信息，并对所述光斑图像的信息进行分析。

在其中一个实施例中，所述检测机构包括相机及分析模块，所述相机与所述分析模块通信连接，所述相机朝向所述倍频片，以采集所述光斑图像的信息，并将所述光斑图像的信息发送至所述分析模块进行分析。

在其中一个实施例中，所述分析模块为计算机。

在其中一个实施例中，所述驱动机构为气缸。

在其中一个实施例中，所述棱镜与所述激光发射器发出的激光之间呈45度夹角。

一种激光加工方法，包括以下步骤：

提供上述激光加工装置；

所述激光发射器发出激光以加工工件；

所述驱动机构驱动所述棱镜，以使所述棱镜进入所述激光发射器发出的激光的路径，并将所述激光发射器发出的激光反射至所述倍频片，以在所述倍频片上形成光斑图像；

通过所述检测机构采集所述光斑图像的信息，并对所述光斑图像的信息进行分析。

在其中一个实施例中，所述光斑图像的信息包括光斑图像的内半径、外半径及圆度。

在其中一个实施例中，所述通过所述检测机构采集所述光斑图像的信息，并对所述光斑图像的信息进行分析的步骤具体为：

通过所述检测机构采集所述光斑图像的信息；