[发明专利]用于刀具的多层复合涂层、刀具及其制备方法有效
| 申请号： | 201610782688.2 | 申请日： | 2016-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN106283053B | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 毛昌海 | 申请（专利权）人： | 艾瑞森表面技术（苏州）股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C28/04 | 分类号： | C23C28/04 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 张芹 |
| 地址： | 215300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多层复合涂层 刀具 交替沉积 沉积 周期性交替 涂层单元 制备 物理气相沉积 刀具本体 多层复合 多靶 | ||
1.一种用于刀具的多层复合涂层，其特征在于，包括周期性交替沉积的多个涂层单元，所述涂层单元包括依次沉积的交替沉积的Cr1-xAlxN层、Cr1-yZryN层、ZrN层和Cr1-yZryN层；其中，0≤x≤0.70，0.30≤y≤0.70；
所述Cr1-xAlxN层、Cr1-yZryN层、ZrN层的单层厚度均为2～10nm。
2.根据权利要求1所述的用于刀具的多层复合涂层，其特征在于，所述多层复合涂层的总厚度为1μm～12.0μm。
3.根据权利要求2所述的用于刀具的多层复合涂层，其特征在于，所述多层复合涂层的总厚度为1μm～6.0μm。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的用于刀具的多层复合涂层，其特征在于，所述Cr1-xAlxN层、Cr1-yZryN层和ZrN层均为面心立方结构。
5.一种刀具，其特征在于，包括权利要求1至4中任一项所述的多层复合涂层，还包括刀具基体，所述多层复合涂层设在所述刀具基体上。
6.根据权利要求5所述的刀具的制备方法，所述方法采用物理气相沉积多靶交替沉积的方法，在刀具本体上分别通过CrAl靶、CrZr靶、Zr靶和CrZr靶交替沉积Cr1-xAlxN层、Cr1-yZryN层、ZrN层和Cr1-yZryN层，得到成周期性交替沉积的Cr1-xAlxN/Cr1-yZryN/ZrN/Cr1-yZryN多层复合涂层。
7.根据权利要求6所述的刀具的制备方法，其特征在于，在刀具本体上沉积多层复合涂层前，还包括在基体上CrAl靶沉积Cr1-xAlxN过渡层的步骤。
8.根据权利要求7所述的刀具的制备方法，其特征在于，所述Cr1-xAlxN过渡层的厚度为50nm～1000nm。
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