[发明专利]用于刀具的多层复合涂层、刀具及其制备方法有效
申请号: | 201610782688.2 | 申请日: | 2016-08-31 |
公开(公告)号: | CN106283053B | 公开(公告)日: | 2018-09-25 |
发明(设计)人: | 毛昌海 | 申请(专利权)人: | 艾瑞森表面技术(苏州)股份有限公司 |
主分类号: | C23C28/04 | 分类号: | C23C28/04 |
代理公司: | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人: | 张芹 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 多层复合涂层 刀具 交替沉积 沉积 周期性交替 涂层单元 制备 物理气相沉积 刀具本体 多层复合 多靶 | ||
本发明公开了一种用于刀具的多层复合涂层、刀具及其制备方法,所述多层复合涂层,包括周期性交替沉积的多个涂层单元,所述涂层单元包括依次沉积的交替沉积的Cr1‑xAlxN层、Cr1‑yZryN层、ZrN层和Cr1‑yZryN层;其中,0≤x≤0.70,0.30≤y≤0.70;所述方法采用物理气相沉积多靶交替沉积的方法,在刀具本体上分别通过CrAl靶、CrZr靶、Zr靶和CrZr靶交替沉积Cr1‑xAlxN层、Cr1‑yZryN层、ZrN层和Cr1‑yZryN层,得到成周期性交替沉积的Cr1‑xAlxN/Cr1‑yZryN/ZrN/Cr1‑yZryN多层复合涂。
技术领域
本发明属于材料表面改性技术领域,具体涉及一种用于刀具的多层复合涂层、刀具及其制备方法。
背景技术
CrAlN涂层作为保护材料被广泛应用于刀具、模具。CrAlN由Al替代CrN中的Cr形成的立方结构的亚稳相CrAlN涂层,其晶体结构和力学性能会随Al含量的变化而变化。在保持CrN的面心立方结构时,涂层的力学性能会随Al含量的上升而上升,当Al含量超过CrN的固溶度时,涂层的结构向六方结构的AlN转化而使其力学和热性能显著下降。
CrAlN涂层作为保护材料经常被应用于高温场合,因此,其高温性能非常重要。CrAlN涂层的高温抗氧化性能较好,高于1000℃。但亚稳相的CrAlN涂层在高温(高于900℃)时会向其稳定相Cr和密排六方的AlN转化而使其力学性能下降,其中Cr的生成需要经过Cr2N过渡完成,尤其是涂层热分解过程中Cr-N键的不稳定释放N原子而使其力学性能显著降低。
基于CrAlN涂层的多元合金化和多层结构优化是目前改善其性能的有效手段。在CrAlN涂层中添加Zr,由于Zr-N之间的键能高于Cr-N键和Al-N键,可以显著改善CrAlN涂层的热稳定性能。添加Zr后,在Cr0.48Al0.52N涂层热分解的起始温度增加,涂层的硬度也随之升高。但Zr的加入会降低CrAlN涂层中A1的固溶度,过高的Zr添加会使涂层的结构向六方相转化而使其性能下降。
涂层材料改性的另一手段多层结构可组合不同材料的优势,特别是当多层复合涂层每一层的厚度控制在纳米尺度时,一种材料会以另一种材料为模板共格外延生长(又称之位超点阵涂层),其界面强化效应可使涂层的硬度急剧上升。多层复合涂层的界面状况除了与其调制周期和调制比密切相关外,还受每一种涂层材料本征性能(譬如:点阵常数、模量等)的影响。由于Cr0.32A0.68N和ZrN两种材料的点阵常数相差太大(~12%),导致其应变能太大而很难形成完全共格生长的超点阵涂层。当CrAlN/ZrN涂层的调制周期为9nm时,CrAlN层和ZrN层为完全非共格的多层复合涂层,此时ZrN层的引入对CrAlN涂层的性能基本没有影响。当CrAlN/ZrN涂层的调制周期降低到5nm,CrAlN层和ZrN层之间的界面为部分共格界面,此时,涂层的硬度和热稳定温度均有提升。
发明内容
为解决上述技术问题,本发明的目的在于提供一种用于刀具上的多层复合涂层、刀具及其制备方法,从而该多层复合涂层组合了各种材料的优势,具有高的硬度和优异热稳定性,提高了涂层的使用性能和应用领域。
为达到上述目的,本发明的技术方案如下:
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