[发明专利]流体控制装置的制造方法

权利要求书

1.一种流体控制装置的制造方法，包含:

(a)提供一壳体、一压电致动器及一可变形基座结构，该压电致动器由一压电元件及一振动板所构成，该振动板具有第一表面及相对应的第二表面，该第二表面具有一突出部，该可变形基座结构包含一流通板及一挠性板，该流通板具有一外部表面，该挠性板具有一可动部；

(b)将该挠性板及该流通板相互堆叠接合构成该可变形基座结构；以及

(c)依序将该壳体、该压电致动器及该可变形基座结构相互堆叠进行定位接合组装后，并实施于外部施加至少一作用力的一同步变形作业，以使该可变形基座结构的该挠性板及该流通板产生同步变形，让该挠性板的该可动部与该振动板的该突出部之间定义出一特定深度。

2.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该同步变形作业施加至少一作用力于该可变形基座结构的该流通板之外部表面，以使该可变形基座结构产生同步变形。

3.如权利要求2所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该同步变形作业施加至少一作用力于该可变形基座结构的该流通板之外部表面，并朝向接近该可变形基座结构的该挠性板方向施力，以致该可变形基座结构产生同步变形，且使该可变形基座结构所接触该流通板之外部表面产生至少一施力痕迹。

4.如权利要求2所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该同步变形作业于外部施加至少一作用力于该可变形基座结构的该流通板之外部表面，并朝向远离该可变形基座结构的该挠性板方向施力，且使该可变形基座结构所接触该流通板之外部表面产生至少一施力痕迹。

5.如权利要求2所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该同步变形作业于外部施加至少一作用力于该可变形基座结构的该流通板之外部表面，该至少一作用力与该流通板之外部表面保持一定间隙，并朝向远离该可变形基座结构的该挠性板方向施力，以致该可变形基座结构产生同步变形，且使可变形基座结构的该流通板之外部表面产生至少一施力痕迹。

6.如权利要求5所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该至少一作用力与该流通板之外部表面保持一定间隙，施力于该流通板之外部表面上该至少一作用力为一吸引力，以致该可变形基座结构产生同步变形。

7.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该可变形基座结构的一同步变形区域为在该挠性板的该可动部区域，且其同步变形为一弯曲同步变形结构，该弯曲同步变形结构与该振动板的该突出部之间定义出一特定深度。

8.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该可变形基座结构的一同步变形区域为在该挠性板的该可动部区域，且其同步变形为一锥形同步变形结构，该锥形同步变形结构与该振动板的该突出部之间定义出一特定深度。

9.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该可变形基座结构的一同步变形区域为在该挠性板的该可动部区域，且其同步变形为一凸块平面同步变形结构，该凸块平面同步变形结构与该振动板的该突出部之间定义出一特定深度。

10.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该可变形基座结构的一同步变形区域为在该挠性板的该可动部区域及超出该可动部区域的同步变形结构，该同步变形结构与该振动板的突出部之间定义出一特定深度。

11.如权利要求1所述的流体控制装置的制造方法，其特征在于，该可变形基座结构的一同步变形区域为在该挠性板的该可动部区域及超出该可动部区域，且其同步变形为一弯曲同步变形结构，该弯曲同步变形结构与该振动板的该突出部之间定义出一特定深度。