[发明专利]流体控制装置的制造方法

说明书

一种流体控制装置的制造方法，包含:(a)提供壳体、压电致动器及可变形基座结构，压电致动器由压电元件及振动板所构成，振动板具有第一表面及相对应的第二表面，第二表面具有突出部，可变形基座结构包含流通板及挠性板，挠性板具有可动部；(b)将挠性板及流通板相互堆叠接合构成可变形基座结构；以及(c)依序将壳体、压电致动器及可变形基座结构相互堆叠定位接合组装后，并实施于外部施加至少一作用力的同步变形作业，使挠性板及流通板产生同步变形，让构成挠性板的可动部与流通板的突出部之间定义出一特定深度。

【技术领域】

本案是关于一种流体控制装置的制造方法，尤指一种具有可变形基座的流体控制装置的制造方法。

【背景技术】

目前于各领域中无论是医药、电脑科技、打印及能源等工业，产品均朝精致化及微小化方向发展，其中微泵、喷雾器、喷墨头及工业打印装置等产品所包含的流体输送结构为其关键技术，是以，如何借创新结构突破其技术瓶颈，为发展的重要内容。

请参阅图1A及图1B所示，图1A为已知流体控制装置的部分结构示意图，图1B为已知流体控制装置的部分结构组装偏移示意图。如图所示，已知的流体控制装置100的作动核心主要包含基板101及压电致动器102，基板101与压电致动器102是堆叠设置，且基板101与压电致动器102具有一间隙103，其中，该间隙103需保持一定深度，借由此间隙103维持一定深度，当压电致动器102受施加电压而致动产生形变时，则可驱动流体于流体控制装置100的各腔室内流动，借以达到流体传输的目的。然而，于此已知的流体控制装置100中，其中压电致动器102与基板101均为平板式的整体结构，且具有一定的刚性，在此条件下，欲使该两个整体均为平板式的结构彼此精准对位，以致使该两平板间产生具有一定之间隙103，即维持一定深度，会具有一定的困难度，极容易产生误差，因为上述任一具一定刚性的整体平板，如有任一边倾斜一角度θ，则于相对的位置均会产生相对的距离乘上该角度θ的位移值，例如一位移d，而导致该一定之间隙103的标线处增加d’(如图1B所示)，或反之减少d’(未图示)；特别是当流体控制装置朝向微小化的发展，每一元件的尺寸均朝微小化设计进行，使得该两平板间欲维持具有一定之间隙103，而不会增加或减少d’，进而保持间隙103的一定深度，其困难度越来越高，而若无法保持间隙103的一定深度，例如间隙103是增加上述一d’位移的误差时，将导致该间隙103的距离过大，进而使得流体传输效率不佳；反之，若间隙是于相反方向以致减少上述一d’位移(未图示)，则使得间隙103的距离过小，进而在压电致动器102作动时易与其他元件接触干涉，而产生噪音的问题，并导致流体控制装置的不良率随的提升。

换言之，由于已知的流体控制装置100的压电致动器102与基板101均为具有一定刚性的平板式整体结构，两者平板间欲以整体对位方式，达到精准对位的目的显为困难，尤其在元件尺寸越趋微小，组装时更难精确对位，进而使流体输送的效能低落及产生噪音的问题，导致使用上的不便利及不舒适。

因此，如何发展一种可改善上述已知技术缺失，可使传统采用流体传输装置的仪器或设备达到体积小、微型化且静音，并克服组装时易产生误差的问题，进而达成轻便舒适的可携式目的的微型流体传输装置，实为目前迫切需要解决的问题。

【发明内容】

本案的主要目的在于解决已知的流体控制装置中，基板与压电致动器因元件微小化的设计，于组装时不易精确地定位而产生误差，使其于组装后难以维持其间隙的需求距离，进而导致流体输送的效能低落及产生噪音的问题，导致使用上的不便利及不舒适的问题。