[发明专利]模具和传递模塑成型装置

权利要求书

1.一种模具，具备：

基板夹紧面，其与被处理基板的表面接触；

腔部，其从所述基板夹紧面后退而成；

吸引部，其从所述基板夹紧面后退而成；

出口部，其设置于所述腔部与所述吸引部之间的路径上，与所述腔部连结，成为所述腔部内的气体的排出路径，从所述基板夹紧面后退出口部深度而成；

中间腔，其在所述路径上设置于所述出口部与所述吸引部之间，与所述出口部连结，从所述基板夹紧面后退比所述出口部深度深的中间腔深度而成；以及

开闭部，其在所述路径上设置于所述中间腔与所述吸引部之间，对所述路径进行开闭。

2.根据权利要求1所述的模具，

所述模具还具备从所述基板夹紧面后退门部深度而成的门部，在所述门部与所述出口部之间的至少一部分设置有所述腔部，

所述出口部深度比所述门部深度浅。

3.一种传递模塑成型装置，具备：

权利要求1或2所述的模具；

使树脂向所述模具导入的传送部；以及

传感器部，

所述传送部，在所述开闭部的打开状态下向所述腔部填充所述树脂，

所述传感器部，对所述树脂的至少一部分通过所述出口部而到达所述中间腔的至少一部分这一情况进行检测，

所述开闭部，在所述传感器部的所述检测后设为关闭状态。

4.根据权利要求3所述的传递模塑成型装置，

所述传感器部的检测，通过如下至少任一方来进行：

检测在所述传送部与所述腔部之间的路径中的，所述模具的温度、所述树脂的压力、在所述模具的反射光、以及在所述被处理基板的反射光中的至少任一方；

检测所述腔部与所述吸引部之间的所述路径中的，所述模具的温度、所述树脂的压力、在所述模具的反射光、以及在所述被处理基板的反射光中的至少任一方；以及

检测所述传送部的位置。