[发明专利]物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体在审
| 申请号： | 201610810585.2 | 申请日： | 2016-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN106841682A | 公开（公告）日： | 2017-06-13 |
| 发明（设计）人： | 小沟公一郎 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G01P15/125 | 分类号： | G01P15/125 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司11225 | 代理人： | 苏萌萌,许梅钰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 物理量 传感器 装置 电子设备 以及 移动 | ||
1.一种物理量传感器，其特征在于，具有：
基板；
可动部，其被配置成能够相对于所述基板进行位移；
电极，其被设置于所述基板的所述可动部侧，且与所述可动部对置配置；
导电部，其被设置于所述可动部的所述基板侧，且与所述电极对置配置，
所述电极与所述导电部的功函数差为0.4eV以下。
2.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，
所述电极以及所述导电部为相同材料。
3.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，
所述可动部具有：
第一可动部，其位于一侧；
第二可动部，其位于另一侧，且在施加有所述基板与所述可动部的排列方向的加速度时的转矩大于所述第一可动部，
所述第一可动部以及所述第二可动部相对于所述基板进行跷跷板式摆动。
4.如权利要求3所述的物理量传感器，其中，
所述电极具有：
第一电极，其与所述第一可动部对置配置；
第二电极，其与所述第二可动部对置配置。
5.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，
所述可动部具有：
基部，其能够相对于所述基板而沿着所述可动部的面内方向进行位移；
可动电极部，其以从所述基部突出的方式被设置。
6.如权利要求5所述的物理量传感器，其中，
所述电极与所述可动部为相同电位。
7.如权利要求2所述的物理量传感器，其中，
所述可动部具有：
第一可动部，其位于一侧；
第二可动部，其位于另一侧，且在施加有所述基板与所述可动部的排列方向的加速度时的转矩大于所述第一可动部，
所述第一可动部以及所述第二可动部相对于所述基板进行跷跷板式摆动。
8.如权利要求7所述的物理量传感器，其中，
所述电极具有：
第一电极，其与所述第一可动部对置配置；
第二电极，其与所述第二可动部对置配置。
9.如权利要求2所述的物理量传感器，其中，
所述可动部具有：
基部，其能够相对于所述基板而沿着所述可动部的面内方向进行位移；
可动电极部，其以从所述基部突出的方式被设置。
10.如权利要求9所述的物理量传感器，其中，
所述电极与所述可动部为相同电位。
11.一种物理量传感器装置，其特征在于，具有：
权利要求1所述的物理量传感器；
电子部件，其与所述物理量传感器电连接。
12.一种电子设备，其特征在于，
具有权利要求1所述的物理量传感器。
13.一种移动体，其特征在于，
具有权利要求1所述的物理量传感器。
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