[发明专利]物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体

说明书

技术领域

本发明涉及物理量传感器、物理量传感器装置、电子设备以及移动体。

背景技术

例如，专利文献1中记载的物理量传感器(加速度传感器)具有：基座基板；能够相对于基座基板进行跷跷板式摆动的可动部；设置于基座基板上且与可动部对置配置的电极，在可动部和电极之间形成有静电电容。在此类物理量传感器中，通过施加加速度而使可动部进行跷跷板式摆动，由此，使电容变化，因此，基于电容的变化来检测所施加的加速度。

然而，在此类结构中，由于可动部的材料与电极的材料不同(例如，可动部由硅构成，电极由Pt构成。)，因此在可动部的功函数(带电量)和电极的功函数之间将产生差，对应于该功函数差，静电电容－电压特性(以下称为“CV特性”)例如会如图1所示那样偏移。此外，在可动部过度位移而与电极接触时，会产生接触带电，可动部有可能粘贴在基座基板上。

因此，在专利文献1的物理量传感器中，存在加速度的检测精度下降的问题。

专利文献1：日本特开2013－40856号公报

发明内容

本发明的目的在于提供能减少物理量的检测精度的下降的物理量传感器、具备该物理量传感器的物理量传感器装置、电子设备以及移动体。

这样的目的由下述的本发明来实现。

本发明的物理量传感器的特征在于，具有：基板；可动部，其被配置成能够相对于所述基板进行位移；电极，其被设置于所述基板的所述可动部侧，且与所述可动部对置配置；导电部，其被设置于所述可动部的所述基板侧，且与所述电极对置配置，所述电极与所述导电部的功函数差为0.4eV以下。

由此，可以得到能够减少物理量的检测精度的下降的物理量传感器。

在本发明的物理量传感器中，优选为，所述电极以及所述导电部为相同材料。

由此，能够容易地减小所述电极与所述导电部的功函数差。

在本发明的物理量传感器中，优选为，所述可动部具有：第一可动部，其位于一侧；第二可动部，其位于另一侧，且在施加有所述基板与所述可动部的排列方向的加速度时的转矩大于所述第一可动部，所述第一可动部以及所述第二可动部相对于所述基板进行跷跷板式摆动。

由此，成为能够检测可动部的厚度方向的加速度的物理量传感器。

在本发明的物理量传感器中，优选为，所述电极具有：第一电极，其与所述第一可动部对置配置；第二电极，其与所述第二可动部对置配置。

由此，能够更高精度地检测可动部的厚度方向的加速度。

在本发明的物理量传感器中，优选为，所述可动部具有：基部，其能够相对于所述基板而沿着所述可动部的面内方向进行位移；可动电极部，其以从所述基部突出的方式被设置。

由此，成为能够检测可动部的面内方向的加速度的物理量传感器。

在本发明的物理量传感器中，优选为，所述电极为与所述可动部为相同电位。

由此，能够减少可动部向基板的粘贴。

本发明的物理量传感器装置的特征在于，具有：本发明的物理量传感器；电子部件，其与所述物理量传感器电连接。

由此，可以得到具有高可靠性的物理量传感器装置。

本发明的电子设备的特征在于，具有本发明的物理量传感器。

由此，可以得到具有高可靠性的电子设备。

本发明的移动体的特征在于，具有本发明的物理量传感器。

由此，可以得到具有高可靠性的移动体。

附图说明

图1为表示静电电容－电压特性的曲线图。

图2为本发明的第一实施方式涉及的物理量传感器的俯视图。

图3为图2中的A－A线剖视图。

图4为用于说明功能元件片的制造方法的剖视图。

图5为用于说明功能元件片的制造方法的剖视图。

图6为用于说明功能元件片的制造方法的剖视图。

图7为用于说明功能元件片的制造方法的剖视图。

图8为用于说明图2所示的物理量传感器的驱动的示意图。

图9为本发明的第二实施方式涉及的物理量传感器的俯视图。

图10为图9中的B－B线剖视图。

图11为本发明的第三实施方式涉及的物理量传感器的俯视图。

图12为图11中的C－C线剖视图。

图13为本发明的第四实施方式涉及的物理量传感器装置的剖视图。

图14为表示应用本发明的电子设备的便携式(或笔记本式型)个人计算机的结构的立体图。