[发明专利]抗蚀剂剥离液有效
| 申请号： | 201610810602.2 | 申请日： | 2014-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN106200283B | 公开（公告）日： | 2017-11-03 |
| 发明（设计）人： | 渊上真一郎;铃木靖纪;有富礼子;児玉明里;五十岚轨雄;坂田俊彦 | 申请（专利权）人： | 松下知识产权经营株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42;H01L21/311 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙)11277 | 代理人： | 刘新宇 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 剥离 | ||
【权利要求书】：
1.一种抗蚀剂剥离液，其特征在于，含有链烷醇叔胺、水以外的极性溶剂、水、仲胺以及糖醇，所述仲胺为N-甲基乙醇胺且含有1.4～5质量％。
2.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液，其特征在于，所述糖醇为山梨糖醇。
3.根据权利要求1所述的抗蚀剂剥离液，其特征在于，所述链烷醇叔胺为N-甲基二乙醇胺，所述水以外的极性溶剂为二乙二醇单丁基醚和丙二醇的混合溶剂。
4.根据权利要求1～3中任一项所述的抗蚀剂剥离液，其特征在于，
所述链烷醇叔胺为2～9质量％，
所述水以外的极性溶剂为50～80质量％，
所述水为10～50质量％，
所述糖醇为0.5～10质量％。
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