[发明专利]运输系统以及其中包括的运输单元

说明书

本公开提供运输系统以及其中包括的运输单元。一种运输系统包括第一轨道，该第一轨道包括第一区域和第二区域，第一区域是第一轨道线性地延伸的区域，第二区域是第一轨道弯曲的区域。第二轨道包括与第一区域分离的第三区域以及交叠第二区域的第四区域，其中第一轨道和第二轨道在包括第二区域和第四区域的接合位置处合并。光线路设置在第二区域和第四区域中，其中光线路在第四区域中彼此平行。第一运输单元在第一轨道上行进。第二运输单元在第二轨道上行进。第一控制器使用通过光线路传送或接收的光来控制第一运输单元和第二运输单元的行进。

技术领域

本发明构思涉及一种运输系统以及其中包括的运输单元。

背景技术

包括被自动控制的运输单元的运输系统可以用于在制造工艺期间装载和运输部件或成品。

一个或更多运输单元可以沿着安装在半导体制造厂中的运输系统的轨道移动。运输系统的其上让所述一个或更多运输单元行进的两个轨道可以在合并位置处合并。然而，当多个运输单元在这两个轨道上行进时，运输单元可能在合并位置彼此碰撞。

发明内容

根据本发明构思的示范性实施方式，一种运输系统包括第一轨道，该第一轨道包括第一区域和第二区域，第一区域是第一轨道线性地延伸的区域并且第二区域是第一轨道弯曲的区域。第二轨道包括与第一区域分离的第三区域以及交叠第二区域的第四区域，其中第一轨道和第二轨道在包括第二区域和第四区域的接合位置处合并。光线路(opticalline)设置在第二区域和第四区域中，其中光线路在第四区域中彼此平行。第一运输单元在第一轨道上行进。第二运输单元在第二轨道上行进。第一控制器使用通过光线路传送或接收的光来控制第一运输单元和第二运输单元的行进。

在本发明构思的示范性实施方式中，光线路包括沿第三区域设置并彼此分离的第一光线路和第二光线路以及沿第四区域设置并彼此分离的第三光线路和第四光线路。

在本发明构思的示范性实施方式中，当第一运输单元在第一时间进入第二区域并且第二运输单元在晚于第一时间的第二时间进入第四区域时，第一控制器向第三光线路供给停止信号。

在本发明构思的示范性实施方式中，该运输系统还包括在第一轨道上行进的第三运输单元，其中当第三运输单元在第一时间和第二时间之间的第三时间进入第二区域时，第一控制器向第三光线路供给停止信号，直到第三运输单元离开第二区域。

在本发明构思的示范性实施方式中，当第一运输单元进入第二区域时，第一运输单元通过第二光线路向第一控制器供给第一进入信号，并且当第二运输单元进入第四区域时，第二运输单元通过第四光线路向第一控制器供给第二进入信号。

在本发明构思的示范性实施方式中，在向第一控制器供给第一进入信号和第二进入信号之前，第一运输单元向第一控制器供给第一参考信号以与第一控制器同步，并且第二运输单元向第一控制器供给第二参考信号以与第一控制器同步。

在本发明构思的示范性实施方式中，当第一进入信号和第二进入信号被同时供给时，第一控制器同时向第一光线路和第三光线路供给停止信号并控制第一运输单元和第二运输单元以顺序地重新开始行进。

在本发明构思的示范性实施方式中，第一控制器包括连接到第一光线路和第二光线路的第一接口板以及连接到第三光线路和第四光线路的第二接口板。第一接口板包括向第一光线路供给光信号的第一发送单元以及接收从第二光线路供给的光信号的第一接收单元，并且第二接口板包括向第三光线路供给光信号的第二发送单元以及接收从第四光线路供给的光信号的第二接收单元。

在本发明构思的示范性实施方式中，第一运输单元包括设置在第一运输单元中的第二控制器，第二运输单元包括设置在第二运输单元中的第三控制器。

在本发明构思的示范性实施方式中，光线路包括沿第二区域设置的第一光线路和沿第四区域设置的第二光线路，并且当第一运输单元进入第二区域时，第二控制器向第一光线路供给第一行进信号。