[发明专利]MEMS装置、液体喷射头和它们的制造方法、液体喷射装置

说明书

本发明提供一种MEMS装置、液体喷射头、液体喷射装置、MEMS装置的制造方法、以及液体喷射头的制造方法，该MEMS装置使构成记录头的压力产生室形成基板不易产生机械性的损伤，从而提高记录头的制造成品率与品质。本发明的特征在于，包括：第一基板(33)；第二基板(29)，其与第一基板(33)层压配置，并在第一基板(33)侧具有压电元件(32)，第一基板(33)与第二基板(29)为大致相同的尺寸，并且在俯视观察时，第一基板(33)的端部(33a)与第二基板(29)的端部(29a)被配置在大致相同的位置处。

技术领域

本发明涉及一种MEMS装置、作为MEMS装置的一个示例的液体喷射头、具备该液体喷射头的液体喷射装置、MEMS装置的制造方法以及液体喷射头的制造方法。

背景技术

作为MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微机电系统)装置的一个示例的喷墨式记录头具有：流道形成基板，其形成有对液体进行贮留的压力产生室；功能元件(压电元件)，其被设置在流道形成基板的一个面侧，所述喷墨式记录头通过对压电元件进行驱动而使压力产生室内的液体产生压力变化，从而从与压力产生室连通的喷嘴喷射液滴。

作为这种压电元件而提出一种通过成膜及光刻法而被形成在流道形成基板上的薄膜形的压电元件。通过使用薄膜形的压电元件而能够高密度地配置压电元件，但与之相对，高密度地配置的压电元件与驱动电路的电连接将变得困难。

例如，专利文献1所记载的喷墨式记录头具有：形成压力产生室的压力产生室形成基板、向压力产生室内的油墨施加喷射能量的压电致动器(压电元件)、形成有对压电元件进行驱动的驱动器的基板。压力产生室形成基板与形成有驱动器的基板相比较大，压电元件通过压力产生室形成基板、形成有驱动器的基板和粘合剂而被密封，从而与空气隔断，由此实现了压电元件的防湿。

并且，压电元件与驱动电路经由凸点而被电连接。通过在压电元件与驱动电路的电连接中使用凸点，从而即使在高密度地配置了压电元件的情况下，也能够容易地对压电元件与驱动电路进行电连接。

然而，在为了实现喷射液体的喷嘴的高密度化而以单晶硅来制造压力产生室形成基板，并且为了提高液体的喷射性能或喷射精度而将压力产生室形成基板设为较薄的情况下，在专利文献1中所记载的喷墨式记录头中，存在如下课题，即，由于压力产生室形成基板与形成有驱动器的基板相比而较大，从而压力产生室形成基板的端部从形成有驱动器的基板的端部伸出，因此易容易在压力产生室形成基板上产生机械性的损伤。

专利文献1：日本特开2014-51008号公报

发明内容

本发明是为了解决上述的课题的至少一部分而完成的发明，其能够作为以下的方式或者应用例而实现。

应用例1

本应用例所涉及的MEMS装置的特征在于，包括：第一基板；第二基板，其与所述第一基板层压配置，并在所述第一基板侧具有功能元件，所述第一基板与所述第二基板为大致相同的尺寸，并且在俯视观察时，所述第一基板的端部与所述第二基板的端部被配置在大致相同的位置处。

根据本应用例，由于第一基板与具有功能元件的第二基板为大致相同的尺寸，并且在俯视观察时第一基板的端部与第二基板的端部被配置在大致相同的位置处，因此第二基板通过第一基板而被保护，从而不易在第二基板上产生机械性的损伤。

例如，由于在以第一基板与第二基板被接合了的状态而进行把持来制造MEMS装置的情况下，不易在第二基板上产生机械性的损伤，因此能够提高MEMS装置的制造成品率，从而提高MEMS装置的品质。

应用例2

在上述应用例所记载的MEMS装置中，优选为，所述第一基板的厚度与所述第二基板的厚度相比而较厚。