[发明专利]振子、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种振子，其特征在于，具有：

基板；

可动部；其以与所述基板对置的方式而配置；

梁部，其能够弹性变形，并对所述可动部以能够相对于所述基板而在所述基板的厚度方向上进行位移的方式进行支承，

在所述梁部的复原力大于在所述基板和所述可动部之间形成的静电力的范围内，所述可动部向所述基板侧位移。

2.如权利要求1所述的振子，其中，

在侧视观察所述基板时，

当将所述静电力与所述复原力相等的位置设为可动临界时，

所述可动部在超过所述可动临界之前与所述基板接触。

3.如权利要求2所述的振子，其中，

与所述基板的和所述可动部对置的面相比，所述可动临界位于与所述可动部相反的一侧。

4.如权利要求1所述的振子，其中，

所述基板具有：

电极，其以与所述可动部对置的方式而配置；

底基板，其对所述电极进行支承。

5.如权利要求1所述的振子，其中，

所述可动部围绕沿着所述基板的面内方向的转动轴而转动。

6.如权利要求5所述的振子，其中，

所述可动部具有从顶端部起向顶端侧突出的突出部。

7.如权利要求5所述的振子，其中，

所述基板具有阶梯部，所述阶梯部被设置在与所述可动部的顶端部对置的位置处并向与所述可动部相反的一侧凹陷。

8.如权利要求1所述的振子，其中，

在所述基板的能够与所述可动部接触的部位处，形成有凹凸。

9.如权利要求2或3所述的振子，其中，

所述基板具有：

电极，其以与所述可动部对置的方式而配置；

底基板，其对所述电极进行支承。

10.如权利要求2至4中任意一项所述的振子，其中，

所述可动部围绕沿着所述基板的面内方向的转动轴而转动。

11.如权利要求6所述的振子，其中，

所述基板具有阶梯部，所述阶梯部被设置在与所述可动部的顶端部对置的位置处并向与所述可动部相反的一侧凹陷。

12.如权利要求2至5中任意一项所述的振子，其中，

在所述基板的能够与所述可动部接触的部位处，形成有凹凸。

13.一种电子设备，其特征在于，

具有权利要求1所述的振子。

14.一种移动体，其特征在于，

具有权利要求1所述的振子。