[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体

权利要求书

1.一种物理量传感器，其特征在于，具有：

基板；

可动板，其以与所述基板对置的方式而配置；

支承部，其对所述可动板进行支承；

梁部，其能够进行弹性变形，且以将所述可动板设为能够相对于所述基板而在所述基板的厚度方向上进行位移的方式对所述可动板和所述支承部进行连结；

第一限制部，其位于所述可动板与所述支承部之间，并对所述可动板的向面内方向的位移进行限制。

2.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述第一限制部被设置于所述可动板上。

3.如权利要求2所述的物理量传感器，其中，

所述可动板在俯视观察时呈矩形形状，

所述第一限制部被设置于所述可动板的角部处。

4.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述可动板通过围绕转动轴倾倒从而在所述厚度方向上进行位移，并且具有如下部分，即，沿着所述旋转轴的方向上的宽度沿着从所述旋转轴远离的方向而逐渐减少的部分。

5.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述第一限制部被设置于所述支承部上。

6.如权利要求1所述的物理量传感器，其中，

所述第一限制部被设置于所述基板上。

7.如权利要求1至5中任意一项所述的物理量传感器，其中，

所述可动板具有相互并列设置的第一可动板和第二可动板，

所述梁部具有对所述第一可动板与所述支承部进行连结的第一梁部、和对所述第二可动板与所述支承部进行连结的第二梁部，

所述物理量传感器还具有第二限制部，所述第二限制部位于所述第一可动板与所述第二可动板之间，并对所述第一可动板以及所述第二可动板的向面内方向的位移进行限制。

8.如权利要求7所述的物理量传感器，其中，

所述第二限制部被设置于所述基板上。

9.如权利要求2所述的物理量传感器，其中，

所述可动板通过围绕转动轴倾倒从而在所述厚度方向上进行位移，并且具有如下部分，即，沿着所述旋转轴的方向上的宽度沿着从所述旋转轴远离的方向而逐渐减少的部分。

10.如权利要求3所述的物理量传感器，其中，

所述可动板通过围绕转动轴倾倒从而在所述厚度方向上进行位移，并且具有如下部分，即，沿着所述旋转轴的方向上的宽度沿着从所述旋转轴远离的方向而逐渐减少的部分。

11.一种电子设备，其特征在于，

具有权利要求1所述的物理量传感器。

12.一种移动体，其特征在于，

具有权利要求1所述的物理量传感器。