[发明专利]物理量传感器、电子设备以及移动体

说明书

技术领域

本发明涉及一种物理量传感器、电子设备以及移动体。

背景技术

一直以来，作为陀螺仪传感器(角速度传感器)而已知有专利文献1所记载的结构。该专利文献1所记载的陀螺传感器具有框状的质量部(框)、被配置于质量部的内侧的可动板(振动装置)、对可动板和框进行连结的梁部(悬架片)、和以与可动板对置的方式而配置的电极，且被构成为，当在使质量部于Y轴方向上进行振动的状态下被施加有围绕X轴的角速度时，通过科里奥利力而使得可动板在使梁部发生扭转变形的同时在Z轴方向上进行振动。由于通过这种可动板的振动而使被形成在可动板与电极之间的静电电容发生变化，因此能够根据该静电电容的变化而对被施加于陀螺传感器上的角速度进行检测。

然而，在这种专利文献1的陀螺传感器中，在向陀螺传感器施加有可动板的面内方向上的加速度的情况下，可动板会向面内方向位移，从而存在梁部过度挠曲而损坏(裂缝的产生、断裂等)、或者可动板与质量部发生碰撞而使可动板损坏的可能性。即，在专利文献1的陀螺传感器中，存在机械强度较低的这类问题。

专利文献

专利文献1：日本特表2008-514968号公报

发明内容

本发明的目的在于，提供一种能够发挥优良的机械强度的物理量传感器、电子设备以及移动体。

这样的目的通过下述的本发明来实现。

本发明的物理量传感器的特征在于，具有：

基板；

可动板，其以与所述基板对置的方式而配置；

支承部，其对所述可动板进行支承；

梁部，其能够进行弹性变形，且以将所述可动板设为能够相对于所述基板而在所述基板的厚度方向上进行位移的方式对所述可动板和所述支承部进行连结；

第一限制部，其位于所述可动板与所述支承部之间，并对所述可动板的向面内方向的位移进行限制。

由此，由于通过第一限制部而限制了可动板的位移，因此能够防止可动板的向支承部的碰撞、或梁部的过度的变形，从而能够获得具有优良的机械强度的物理量传感器。

在本发明的物理量传感器中，优选为，所述第一限制部被设置于所述可动板上。

由此，第一限制部的配置变得容易。此外，例如能够将第一限制部与可动板一体形成。

在本发明的物理量传感器中，优选为，所述可动板在俯视观察时呈矩形形状，

所述第一限制部被设置于所述可动板的角部处。

由此，能够有效地减少可动板与支承部的接触。此外，由于可动板的角部为容易因撞击而出现缺口或破损的部位，因此通过利用第一限制部来保护这样的部位，从而能够有效地对可动板进行保护。

在本发明的物理量传感器中，优选为，所述可动板通过围绕转动轴倾倒从而在所述厚度方向上进行位移，并且具有如下部分，即，沿着所述旋转轴的方向上的宽度沿着从所述旋转轴远离的方向而逐渐减少的部分。

由此，使可动板与支承部变得不易接触。

在本发明的物理量传感器中，优选为，所述第一限制部被设置于所述支承部上。

由此，第一限制部的配置变得容易。此外，例如能够将第一限制部与支承部一体形成。

在本发明的物理量传感器中，优选为，所述第一限制部被设置于所述基板上。

由此，能够以与可动板及支承部为非接触的方式而对第一限制部进行配置。因此，第一限制部不会对可动板及支承部的位移造成影响。

在本发明的物理量传感器中，优选为，所述可动板具有相互并列设置的第一可动板和第二可动板，

所述梁部具有对所述第一可动板与所述支承部进行连结的第一梁部、和对所述第二可动板与所述支承部进行连结的第二梁部，

所述物理量传感器还具有第二限制部，所述第二限制部位于所述第一可动板与所述第二可动板之间，并对所述第一可动板以及所述第二可动板的向面内方向的位移进行限制。

由此，能够防止第一可动板与第二可动板的接触。

在本发明的物理量传感器中，优选为，所述第二限制部被设置于所述基板上。

由此，使第二限制部的配置变得容易。

本发明的电子设备的特征在于，具有本发明的物理量传感器。

由此，能够获得一种机械强度优良、且具有较高可靠性的电子设备。

本发明的移动体的特征在于，具有本发明的物理量传感器。

由此，能够获得一种机械强度优良、且具有较高可靠性的电子设备。

附图说明