[发明专利]一种柔性器件的基板结构及其柔性器件和显示面板

权利要求书

1.一种柔性器件的基板结构，至少包括依次层叠设置的刚性基板、柔性基板、缓冲层和薄膜晶体管层，其特征在于：所述基板结构还包括有机光阻层，所述有机光阻层形成于所述柔性基板和所述缓冲层之间；

所述有机光阻层为有机光刻胶层；

所述有机光阻层的厚度为1μm～3μm。

2.如权利要求1所述的基板结构，其特征在于：所述柔性基板为聚酰亚胺薄膜。

3.如权利要求2所述的基板结构，其特征在于：所述柔性基板的厚度为10μm～30μm。

4.如权利要求1所述的基板结构，其特征在于：所述缓冲层具有数层叠合的叠层结构。

5.如权利要求1至4中任意一项所述的基板结构，其特征在于：所述刚性基板为玻璃基板。

6.一种柔性器件，其采用如权利要求1至5中任意一项所述的基板结构。

7.如权利要求6所述的柔性器件，其特征在于：所述柔性器件为薄膜晶体管阵列柔性器件或者OLED柔性器件。

8.一种显示面板，其特征在于，所述显示面板采用如权利要求6或7所述的柔性器件。