[发明专利]吸盘装置以及元件转移方法

说明书

本发明提供一种吸盘装置以及元件转移方法，其吸盘装置用以吸取至少一元件。吸盘装置包括静电吸盘以及图案化导电层。图案化导电层配置于静电吸盘上，具有暴露出部分静电吸盘的至少一开口，其中当静电吸盘通电时，经由至少一开口暴露出来的静电吸盘诱发至少一元件与其之间产生偶极‑偶极力，使得至少一元件经由至少一开口被吸附于部分静电吸盘上。本发明提供的吸盘装置藉由诱发元件与其之间产生偶极‑偶极力来吸附元件，本发明另提供的元件的转移方法能避免静电力击穿元件。

技术领域

本发明涉及一种吸盘装置以及元件转移方法，尤其涉及一种具有图案化导电层的吸盘装置以及使用其的元件转移方法。

背景技术

一般来说，传统电子零件组装是藉由机械性拿取(pick-place)的方式来制作。然而，随着元件尺寸越来越小型化，传统的拿取方式会导致成本大幅提升。此外，当电子零件进入微米级或纳米级尺寸时，机械性拿取方式已不利于使用。虽然有人提出使用诸如吸嘴等新颖方式来取代机械性拿取方式，然而其具有成本昂贵与治具制作不易的缺点。因此，微小元件组装陷入瓶颈。

发明内容

本发明提供一种吸盘装置，藉由诱发元件与其之间产生偶极-偶极力来吸附元件。

本发明另提供一种元件的转移方法，能避免静电力击穿元件。

本发明的吸盘装置用以吸取至少一元件。吸盘装置包括静电吸盘以及图案化导电层。图案化导电层配置于静电吸盘上，具有暴露出部分静电吸盘的至少一开口，其中当静电吸盘通电时，经由至少一开口暴露出来的静电吸盘诱发至少一元件与其之间产生偶极-偶极力，使得至少一元件经由至少一开口被吸附于部分静电吸盘上。

本发明的元件的转移方法包括以下步骤。施加电压至吸盘装置的静电吸盘。使吸盘装置接近位于第一位置处的至少一元件，其中至少一元件经由至少一开口被吸附于部分静电吸盘上。将已吸附有至少一元件的吸盘装置由第一位置移动至第二位置。于第二位置处移除施加于吸盘装置上的电压，使得至少一元件自吸盘装置上脱离而由第一位置吸取至第二位置。

在本发明的一实施例中，上述的静电吸盘包括至少一个正电极、至少一个负电极以及围绕至少一个正电极与至少一个负电极的绝缘层。

在本发明的一实施例中，上述的至少一个正电极包括多个正电极，至少一个负电极包括多个负电极。

在本发明的一实施例中，还包括释放层，配置于静电吸盘与图案化导电层之间。

在本发明的一实施例中，上述的图案化导电层的厚度介于1μm至5μm。

在本发明的一实施例中，上述的图案化导电层具有栅状结构。

在本发明的一实施例中，上述的至少一开口包括多个开口。

在本发明的一实施例中，上述的至少一元件包括多个元件，以及多个元件分别经由多个开口被吸附于部分静电吸盘上。

基于上述，本发明利用在静电吸盘上形成图案化导电层，使得静电吸盘的局部区域具有静电力。如此一来，可以藉由诱导元件与经开口暴露的静电吸盘之间产生偶极-偶极力，使得元件经由开口被吸附于静电吸盘上。此外，藉由设计图案化导电层的开口排列方式，能将多个元件批次转移至所需位置且以所需方式排列。故吸盘装置能广泛地应用于具有微米或纳米等级尺寸的元件的转移步骤中，且能避免静电影响元件的特性。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下。

附图说明

图1A是依照本发明的一实施例的一种吸盘装置的剖面示意图；

图1B是依照本发明的一实施例的一种吸盘装置的上视示意图；

图2是依照本发明的一实施例的一种吸盘装置的上视示意图；