[发明专利]基板对准装置

权利要求书

1.一种基板对准装置,利用在基板上形成的目标标记和在对象上形成的对象标记从而执行关于基板的目标对准，其特征在于，包括：

摄像机腔室，在真空腔室内部中提供独立密封的大气压收容空间；

对准摄像机，设置于摄像机腔室内部，并且拍摄目标标记和对象标记；以及

腔室移动单元，使摄像机腔室在真空腔室内部中移动。

2.根据权利要求1所述的基板对准装置，其特征在于，

所述摄像机腔室包括：

腔室主体，形成所述大气压收容空间；以及

观察窗，形成在所述腔室主体上，使所述对准摄像机能观察所述目标标记和所述对象标记。

3.根据权利要求1所述的基板对准装置，其特征在于，

所述腔室移动单元包括：

运转轴，一端连接所述摄像机腔室，另一端配置在所述真空腔室的外侧；以及

直线驱动部，设置在所述真空腔室的外侧，并且使所述运转轴沿着所述运转轴的轴方向进行直线移动。

4.根据权利要求3所述的基板对准装置，其特征在于，

所述直线驱动部包括：

螺旋部件，所述螺旋部件可旋转；

第1发动机，提供用于使所述螺旋部件旋转的驱动力；

第1动力传达部件，将所述第1发动机的驱动力传达给所述螺旋部件；以及

运行部件，连接所述运转轴，并对应于所述螺旋部件的旋转，沿着所述螺旋部件进行直线移动。

5.根据权利要求1所述的基板对准装置，其特征在于，

所述腔室移动单元包括：

运转轴，一端连接在所述摄像机腔室上，另一端配置在所述真空腔室的外侧；以及

旋转驱动部，设置于所述真空腔室的外侧，使所述运转轴旋转驱动。

6.根据权利要求5所述的基板对准装置，其特征在于，

所述旋转驱动部包括：

第2发动机，提供用于使所述运转轴旋转的驱动力；以及

第2动力传达部件，将所述第2发动机的驱动力传达给所述运转轴。

7.根据权利要求3所述的基板对准装置，其特征在于，还包括：

旋转驱动部，设置于所述真空腔室的外侧，使所述运转轴旋转驱动，

所述旋转驱动部借助于所述直线驱动部的驱动力，与所述运转轴一起进行直线移动。

8.根据权利要求7所述的基板对准装置，其特征在于，

所述直线驱动部，包括：

螺旋部件，所述螺旋部件可旋转；第1发动机，提供用于使所述螺旋部件旋转的驱动力；第1动力传达部件，将所述第1发动机的驱动力传达给所述螺旋部件；以及

运行部件，连接所述运转轴，并对应于所述螺旋部件的旋转，沿着所述螺旋部件进行直线移动；

所述旋转驱动部，包括：

第2发动机，安装在所述运行部件上，并且提供用于使所述运转轴旋转的驱动力；以及

第2动力传达部件，将所述第2发动机的驱动力传达给所述运转轴；

所述旋转驱动部借助于所述第1发动机的驱动力，与所述运行部件一起进行直线移动。

9.根据权利要求3或权利要求5所述的基板对准装置，其特征在于，

所述运转轴具备空心截面形态。

10.根据权利要求9所述的基板对准装置，其特征在于，还包括

摄像机电缆，与所述对准摄像机连接，且设置在所述运转轴的内部。

11.根据权利要求9所述的基板对准装置，其特征在于，包括：

冷却管，所述冷却管设置于所述运转轴的内部，所述冷却管的一端配置在所述大气压收容空间内，另一端配置在真空腔室外部。

12.根据权利要求3或权利要求5所述的基板对准装置，其特征在于，

还包括密封部件，所述密封部件安装在所述运转轴上，在所述真空腔室及所述运转轴之间进行密封。

13.根据权利要求12所述的基板对准装置，其特征在于，

所述密封部件包括磁性液体密封条。