[发明专利]一种变频它激式射频发生器有效

专利信息
申请号: 201610862455.3 申请日: 2016-09-28
公开(公告)号: CN106656172B 公开(公告)日: 2020-06-23
发明(设计)人: 李毅;郭洪民 申请(专利权)人: 北京锐光仪器有限公司
主分类号: H03L7/099 分类号: H03L7/099;H03L7/02
代理公司: 北京市东方至睿知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11485 代理人: 霍金虎
地址: 102206 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 一种 变频 射频 发生器
【权利要求书】:

1.一种变频它激式射频发生器,其特征在于,包括压控振荡单元、功率检测单元和鉴频器单元;所述鉴频器单元用于根据检测到的负载射频网络的频率值向所述压控振荡单元发送调整频率的控制信号,所述功率检测单元用于将检测到的所述压控振荡单元的功率值发送给所述鉴频器单元;

所述变频它激式射频发生器还包括前级激励单元和后级功率放大单元,所述前级激励单元用于将所述压控振荡单元输出的振荡信号经过激励处理后发送给所述后级功率放大单元,所述后级功率放大单元用于将所述振荡信号经过放大处理后发送给所述功率检测单元,所述功率检测单元用于向所述前级激励单元发送调整激励程度的控制信号;

压控振荡单元在一定电压下产生27.12M或40.68M Hz的频率信号,振荡频率的变化与控制电压成线性关系;前级激励单元将振荡信号进行功率放大,为后级功率放大单元提供驱动激励,其输出阻抗为50欧姆;后级功率放大单元将激励功率进一步放大,达到1500W左右,输出阻抗为50欧姆;功率检测单元用于检测输出功率的变化,反馈到前级激励单元,以达到稳定的输出功率;鉴频器单元用于检测负载射频网络的负载频率变化,当负载射频网络的射频负载处于等效阻抗50欧姆时,即负载射频网络的振荡频率与压控振荡单元的频率一致,输出信号为0,反射功率接近于0;当负载射频网络的射频负载不为50欧姆时,此时为感性负载或容性负载,反射功率增加,即由于负载射频网络的变化使自身振荡频率与压控振荡单元的频率不一致,此时鉴频器单元输出正/负信号,叠加、反馈到压控振荡单元的控制端,进行频率的调整,使负载射频网络处于等效阻抗50欧姆。

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