[发明专利]一种变频它激式射频发生器

说明书

本发明提供了一种变频它激式射频发生器，属于射频技术领域。该变频它激式射频发生器包括压控振荡单元、功率检测单元和鉴频器单元；所述鉴频器单元用于根据检测到的负载射频网络的频率值向所述压控振荡单元发送调整频率的控制信号，所述功率检测单元用于将检测到的所述压控振荡单元的功率值发送给所述鉴频器单元。本发明通过鉴频器单元根据负载射频网络的频率值的变化输出正信号或负信号，并反馈至压控振荡单元，从而实现对输出频率的调整，使负载射频网络处于等效阻抗为50欧姆的状态，不仅具有较好的稳定性及可以标定的输出功率，而且响应速度较快，避免由于负载变化过大导致失谐使等离子炬熄灭。

技术领域

本发明涉及一种变频它激式射频发生器，属于射频技术领域。

背景技术

电感耦合等离子体质谱仪/光谱仪是一种新型的分析技术，可快速同时检测周期表上几乎所有元素，成为公认的最有力的元素分析手段，目前已广泛应用于国民经济的各个领域。

大功率射频发生器是电感耦合等离子体光谱仪/质谱仪重要的核心部件之一，它的主要作用是通过大功率高频发生器产生强大的高频电能，并通过耦合线圈产生高频电磁场，形成稳定的高频电能输送给等离子炬，用以激发和维持氩气或其它气体形成的高温等离子体，其稳定性和可靠性对仪器的测量结果的质量至关重要。

现有的射频发生器主要包括自激式和它激式两种形式。自激式射频发生器通过负载线圈及谐振电容构成振荡电路，这种方式结构简单，制造调试相对容易，但不足之处是频率稳定性较差且输出功率无法标定。它激式射频发生器利用石英晶振构成振荡器，频率稳定性高，功率易于控制，但其匹配调节采用电机控制真空电容，调节速度较慢，特别是当负载变化剧烈时，导致等离子炬因匹配失谐而熄灭。

发明内容

本发明提出了一种变频它激式射频发生器，为解决现有的射频发射器存在的频率稳定性较差、输出功率无法标定以及调节速度较慢的问题，为此本发明采用如下的技术方案：

一种变频它激式射频发生器，包括压控振荡单元、功率检测单元和鉴频器单元；所述鉴频器单元用于根据检测到的负载射频网络的频率值向所述压控振荡单元发送调整频率的控制信号，所述功率检测单元用于将检测到的所述压控振荡单元的功率值发送给所述鉴频器单元。

本发明的有益效果是：通过鉴频器单元根据负载射频网络的频率值的变化输出正信号或负信号，并反馈至压控振荡单元，从而实现对输出频率的调整，使负载射频网络处于等效阻抗为50欧姆的状态，不仅具有较好的稳定性及可以标定的输出功率，而且响应速度较快，避免由于负载变化过大导致失谐使等离子炬熄灭。

附图说明

图1为本发明所述的变频它激式射频发生器的结构示意图。

图2为负载射频网络的电路结构示意图。

图3为鉴频器单元的电路结构示意图。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

结合图1所示，本具体实施方式提供的变频它激式射频发生器包括压控振荡单元11、功率检测单元12和鉴频器单元13；鉴频器单元13用于根据检测到的负载射频网络21的频率值向压控振荡单元11发送调整频率的控制信号，功率检测单元12用于将检测到的压控振荡单元11的功率值发送给鉴频器单元13。